XITON PHOTONICS是(shi)泵浦固(gu)態激(ji)光(guang)(guang)(guang)器與非(fei)線(xian)性光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)器件的(de)(de)專家。XITON PHOTONICS開發并制(zhi)造(zao)了幾乎任何所(suo)需(xu)波(bo)長的(de)(de)可(ke)靠激(ji)光(guang)(guang)(guang)系(xi)(xi)統(tong)，波(bo)長范圍(wei)從(cong)深紫外185nm到中紅外5µm。XITON PHOTONICS是(shi)一(yi)家位于德國(guo)的(de)(de)全球運營公司，擁有超過15年的(de)(de)經驗。IXION 193 SLM是(shi)一(yi)種單頻全固(gu)態激(ji)光(guang)(guang)(guang)系(xi)(xi)統(tong)，用于光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)計量、193nm步(bu)進光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)器件的(de)(de)校(xiao)準或高功率ArF準分子激(ji)光(guang)(guang)(guang)器的(de)(de)帶寬控(kong)制(zhi)等應用。該系(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)波(bo)長可(ke)在(zai)185至(zhi)194nm之間的(de)(de)范圍(wei)內定(ding)制(zhi)，并且可(ke)以在(zai)購買(mai)時(shi)預(yu)先配置為固(gu)定(ding)波(bo)長。作為一(yi)種選(xuan)擇，將具有0.001nm光(guang)(guang)(guang)譜精度的(de)(de)高精度光(guang)(guang)(guang)譜儀集成到系(xi)(xi)統(tong)中。這允許大(da)限度地(di)控(kong)制(zhi)激(ji)光(guang)(guang)(guang)器的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)譜調諧。

• 可靠性

• 產地：德國
• 波長：193.368 nm
• 平均功率：10mW
• 脈沖持續時間：典型值8-12 ns
• 每脈沖能量：1.6µJ
• 重復頻率：1-15 kHz
• 光束質量：M²<1.6
• 頻譜帶寬：＜80 MHz
• 光譜可調諧性：>10pm
• 相干長度：>2 m
• 脈沖對脈沖刺入.：σ<2.5%