產品介紹
BDISCOM是一(yi)家制(zhi)造(zao)公司，生產直流低壓和(he)(he)高(gao)壓/安培、MF 40 kHz 和(he)(he) RF -13.56 MHz 以及(ji)(ji)臺式射頻等離子體反應(ying)器系(xi)列(lie)，還提供(gong)發(fa)電機、電源和(he)(he)過程控(kong)制(zhi)系(xi)統。多年來積(ji)累了(le)豐富的設計開發(fa)經驗，通(tong)過不斷地研究創新，提高(gao)產品質量及(ji)(ji)性(xing)能，滿足客戶需求(qiu)。
BDS SP 3是用于直流濺射工藝(yi)的新(xin)型電源系列。
性能特點
- 所有單元均配備用戶友好的主動式觸摸屏顯示器
- 點火電壓高達 1,1 kV
- 電弧檢測 DV/DT 關閉時間 < 1mSec
- 冷卻空氣
技術參數
- 電源要求：400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
- max功率輸出：3、6 和 12kw FS
- max電壓輸出：1000 Volt FS
- max電流輸出：6、12 和 25 安培
- 點火：1,1 KVolt
- 電弧探測器：< 200 nSec 檢測，< 1 mSec DV/DT 關閉時間
- 效率：> 90 %
- 顯示：觸摸面板 240x128 像素
- 調節模式：功率/電壓/電流（可選）
- 冷卻：空氣（強制）
- 接口：RS 232 - Profibus - A/D（Profibus 選項）
- 工作溫度：5-40°C
- 尺寸：19” 機架 - 4HU
