DSV 系(xi)列隔(ge)膜閥是一(yi)個(ge)帶有兩(liang)個(ge)常閉截止閥和一(yi)個(ge)大氣參考的 GC 模(mo)塊。該閥門在過(guo)流區域完全(quan)沒有彈簧、波紋管、填(tian)料和潤滑劑。與大氣的金屬對金屬密封確(que)保不會將不期望的元素傳輸到流速中。Elgiloy 隔(ge)膜確(que)保更大的耐腐蝕(shi)性和延(yan)長的整體使(shi)用(yong)壽命。
*非 CT-76 制造的表面貼裝系統需要 CT-76 底座適配(pei)器板
閥(fa)體(ti):316L 不銹鋼、蒙乃爾(er)合(he)金(jin)和哈氏合(he)金(jin) C-276
閥座:PCTFE 和 PEEK
隔膜:Elgiloy AMS 5876
孔(kong)口尺(chi)寸:0.110? (2.8 mm)
流通能(neng)力(li):0.20 Cv
閥門(men)內(nei)部容積:0.231 cc
外部泄漏:1×10-5 cc/sec 氦氣(內側)
驅動壓力:min.50 psig (3barg)
工作溫度
閥座材料PCTFE:-40°F 至 +212°F/-40°C 至 +100°C
閥座材料(liao)PEEK:0°F 至(zhi)(zhi) +400°F /-18°C 至(zhi)(zhi) +204°C
工作壓力
工(gong)作(zuo)壓力:真空(kong) (50 torr) 至 500 psig (34 bar)
耐壓:2000 psig (138 barg)
爆破壓力:8000 psig (552 barg)
包裝尺寸(cun):3英(ying)(ying)寸(cun)長×2.6英(ying)(ying)寸(cun)高×1.5英(ying)(ying)寸(cun)寬
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