7037 和(he) 7027 系列在線射頻功(gong)(gong)率(lv)(lv)傳(chuan)感器(qi)(qi)率(lv)(lv)先(xian)將(jiang)可追溯的(de)測量(liang)(liang)精(jing)度引入(ru)市場，適用(yong)于需要準(zhun)確射頻功(gong)(gong)率(lv)(lv)測量(liang)(liang)的(de)應用(yong)，例如半導體、激光行(xing)業。BIRD先(xian)進的(de) CW 和(he)脈沖傳(chuan)感器(qi)(qi)，大(da)限度地(di)減(jian)少(shao)射頻工藝(yi)的(de)可變性(xing)，改(gai)變等離子室(shi)與室(shi)的(de)匹配，并(bing)為您(nin)的(de)射頻傳(chuan)輸系統提供(gong)重要的(de)洞察(cha)力。借助 Bird 的(de)校準(zhun)技術，可在整(zheng)個(ge)動態范圍內保證百分之0.5的(de)精(jing)度，從而確保單元(yuan)間的(de)可重復性(xing)并(bing)降低過程(cheng)可變性(xing)。無論您(nin)使(shi)用(yong)的(de)是(shi) CW 還是(shi) Pulsed RF，這兩種測量(liang)(liang)結果都(dou)會使(shi)用(yong) Bird 的(de)功(gong)(gong)率(lv)(lv)計自(zi)動顯(xian)示，無需切換(huan)模(mo)式。在每個(ge)脈沖內使(shi)用(yong)多達 4 個(ge)間隔自(zi)定義(yi)您(nin)的(de)復雜工藝(yi)配方測量(liang)(liang)。

• 通過射頻發生器校準和驗證，這些高精度傳感器可確保射頻發生器輸出的可靠性。
• 使用 VPM3 記錄和分析來自實驗配方的射頻功率數據，以實現更簡化的工藝開發。
• 現場流程監控允許在運行時實時監控流程以檢測異常情況。
• RF 脈沖波形的時域分析提供了對高功率 RF 脈沖的更深入了解。

• 測量類型：CW 和多態脈沖射頻功率
• 阻抗，標稱：50 歐姆
• 駐波比范圍：1.0:1 至 2.0:1
• 插入損耗：<0.05 dB max
• 插入電壓駐波比：1.05 max
• 方向性：28 dB min
• 校準：NIST Traceable
• 射頻連接器：QC 7/16 DIN、N、HN、LC、QRM 和其他可根據要求提供
• 尺寸：6.0 英寸 x 1.9 英寸 x 3.7 英寸（155 毫米 x 50 毫米 x 95 毫米）不包括 QC 連接器
• 重量：小于 3 磅，1.4 公斤