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平面(mian) XY 工作臺由稱為壓(ya)力器的移(yi)動元件組成(cheng),它在(zai)稱為壓(ya)板的特殊“華夫餅狀”表面(mian)上的無摩(mo)擦空氣軸承上滑動。
單平面(mian)上的兩軸 XY 運動
加速到 2g
速度 1 米/秒
高(gao)重(zhong)復性 3 µm
分辨率 1 µm
精度 10 至 25 µm
在(zai)單(dan)個壓板上具有重疊軌(gui)跡(ji)的多個強制器(qi)
安裝面朝上或倒置
低成本的雙軸定位平(ping)臺
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