產品介紹
On-Board IS 320FX 低(di)(di)(di)溫(wen)泵(beng)(beng)專(zhuan)為應對當今離子注入工(gong)藝的(de)(de)挑戰而開發，可(ke)提供(gong)更(geng)高(gao)的(de)(de)氫氣(qi)泵(beng)(beng)送速(su)(su)度(du)和容量(liang)(liang)，同時(shi)保(bao)持您對 On-Board的(de)(de)所有質(zhi)量(liang)(liang)、性(xing)(xing)能(neng)(neng)和可(ke)靠性(xing)(xing)優(you)(you)勢 IS 320FE 低(di)(di)(di)溫(wen)泵(beng)(beng)。On-Board IS 320FX 低(di)(di)(di)溫(wen)泵(beng)(beng)旨在提供(gong)高(gao)的(de)(de)氫氣(qi)真(zhen)(zhen)空抽(chou)速(su)(su)和容量(liang)(liang)，以提高(gao)產(chan)品產(chan)量(liang)(liang)和工(gong)具產(chan)量(liang)(liang)。 基于 Edwards 廣泛的(de)(de)低(di)(di)(di)溫(wen)泵(beng)(beng)設計(ji)知識，該(gai)低(di)(di)(di)溫(wen)泵(beng)(beng)優(you)(you)于所有其他同等尺(chi)寸的(de)(de)泵(beng)(beng)，同時(shi)符(fu)合嚴格的(de)(de)準則。智能(neng)(neng)系(xi)統控制提供(gong)更(geng)好的(de)(de)工(gong)藝質(zhi)量(liang)(liang)、真(zhen)(zhen)空一致性(xing)(xing)和正常運(yun)行時(shi)間(jian)，同時(shi)提供(gong)實時(shi)系(xi)統知識以優(you)(you)化電(dian)機速(su)(su)度(du)和低(di)(di)(di)溫(wen)溫(wen)度(du)。針對不(bu)斷變(bian)化的(de)(de)熱(re)/氣(qi)體負(fu)載條件的(de)(de)自動(dong)調(diao)整(zheng)增強(qiang)了真(zhen)(zhen)空一致性(xing)(xing)并縮短了晶圓間(jian)的(de)(de)恢復時(shi)間(jian)。On Board IS 320FX 還可(ke)以針對工(gong)藝相關涂層的(de)(de)堆積(ji)進行調(diao)整(zheng)，而不(bu)會影響可(ke)靠性(xing)(xing)或生產(chan)力。
性能特點
- 專為離子注入應用而設計
- 智能自調節技術
- 擁有成本更低
- 增加正常運行時間
技術參數
- 氫氣容量:30L /40L
- 分頻器：300 Torr-L
- ISO 真空法蘭內徑：12.6 英寸（320 毫米）
