NSX 330 系(xi)列通過在單(dan)個平(ping)(ping)臺中支(zhi)(zhi)持(chi)多個應(ying)(ying)用程序直接(jie)提(ti)(ti)高(gao)擁有成本，從而支(zhi)(zhi)持(chi)封裝(zhuang)流(liu)程。NSX 330 系(xi)統(tong)結合了檢測(ce)和計(ji)量，可(ke)測(ce)量多種應(ying)(ying)用，包括在單(dan)個晶(jing)圓負載(zai)中對微凸塊、RDL、切口(kou)、覆蓋(gai)層(ceng)和硅通孔 (TSV) 進行晶(jing)圓級(ji)計(ji)量。NSX 330 系(xi)統(tong)提(ti)(ti)供(gong)(gong)強大的(de)平(ping)(ping)臺技術，包括：高(gao)加速(su)分(fen)級(ji)、高(gao)速(su)多處(chu)理器計(ji)算和高(gao)度靈活的(de)軟件，具有可(ke)用性水平(ping)(ping)。NSX 330 系(xi)統(tong)在全(quan)球安裝(zhuang)了超過 1,000 臺 NSX 系(xi)統(tong)，提(ti)(ti)供(gong)(gong)更(geng)高(gao)的(de) 2D 檢測(ce)和計(ji)量吞吐量以及支(zhi)(zhi)持(chi)關鍵(jian)先進封裝(zhuang)應(ying)(ying)用的(de)廣泛(fan) 3D 傳感器產品組合。

• 可選擇具有硬質陽極氧化處理的檢測平臺，可容納 100 毫米至 330 毫米的整個晶圓
• 可編程燈塔
• 可編程照明濾光輪
• 多種暗場照明模式
• 標準對接模塊

• 分辨率靈活性（10µm 至 0.5µm）
• 獨特的處理解決方案（Mems、Taiko、Thin）、極端翹曲（>12mm）和超薄（<50µm）
• 物鏡轉塔為需要高通量和高分辨率的檢測應用提供了靈活性。轉塔組件有五 (5) 個可用插槽，可安裝 1X、2X、3X、5X、10X、20X 和 50x 物鏡的任意組合。