產品介紹
V70S 系列矩形閘閥采用創新的雙氣缸設(she)計，與標準 V74 系列相比，占地面積更小。該閥采用與 V74 相同的 L-Motion 機構，并(bing)具有(you)可(ke)拆卸(xie)的頂蓋，便于(yu)閘門密封維護(hu)。
性能特點
- 可拆卸閥殼蓋
- 半標準應用（Semi E21-94、Semi E24-92、Semi E21.1-1296）
- L-motion 連桿和執行器中無彈簧的雙換檔可實現更快、更平穩的驅動，同時降低振動
- 閥蓋法蘭真空側的防塵密封，幾乎消除顆粒進入波紋管
- 機械鎖定，因此在閘門行程結束時閥門鎖定到位
- 焊接波紋管執行器密封
- 閥蓋法蘭螺栓設計有保持器，以防止螺栓在拆卸時脫落
可選功能與配件
可定制尺寸
各種 O 型圈化合物（Kalrez、Chemraz 等(deng)）
技術參數
產品尺寸
產品應用
等(deng)離子蝕刻、CVD、濺射沉積(ji)
太陽能電池板的制造
半導體加工
LCD/平板工藝
所(suo)有其他集(ji)群真空系統
