產品介紹
閥門處理半(ban)導體和(he)其他加工中的應(ying)用，常用于將泵和(he)樣品入口鎖與 HV 或(huo) UHV 工作室隔離。
閥(fa)門對行業的(de)重要性幾乎與(yu)泵一(yi)樣重要。我們提(ti)供各種尺(chi)寸(cun)的(de)閥(fa)門類型。
性能特點
- CF 法蘭（帶銅墊片）：在大氣中工作，壓力范圍為 10-11 托，可烘烤至 200°C（移除執行器）
- 通用電拋光不銹鋼
- 1,100°C 真空釬焊，確保在 HV 和 UHV 壓力下可靠運行
- 在緊湊的設計中提供高電導率
- 無沖擊運行，振動小
- 需要維護前的 100,000 次循環服務
- 提供手動或氣動操作
- 氣動閥在斷電或氣壓損失的情況下關閉或保持關閉
- 所有氣動5” 法蘭外徑和更大的型號包含用于位置指示的磁性 REED 開關
- 氣動閥配備 120VAC 電磁操作器，無需額外費用（其他電壓，交流和直流，可根據要求提供）
技術參數
