ATV3000 排氣壓力控(kong)(kong)制(zhi)器用(yong)于控(kong)(kong)制(zhi)真(zhen)空室中的壓力。它還被制(zhi)造用(yong)于控(kong)(kong)制(zhi)大范(fan)圍的壓力。 由(you)于控(kong)(kong)制(zhi)器和閥門是一體制(zhi)造的，因(yin)此(ci)無(wu)需使用(yong)額(e)外的控(kong)(kong)制(zhi)器，因(yin)此(ci)可以(yi)降低成本(ben)。 

• ATV3000智能排氣節流閥采用微步進電機和直接齒輪驅動器，提高閥門的分辨率。
• ATV3000 智能排氣節流閥采用高扭矩電機，因此即使在大型腔室中也可以安裝真空管路（例如 12 英寸）。
• ATV3000 智能排氣節流閥體即使在加熱到 150?C 后也可以使用。（不包括密封型）
• ATV3000智能排氣節流閥以FND顯示擋板位置，方便用戶從外部查看閥門是否工作。 它的設計使其可以在不與設備分離的情況下進行檢查。
• ATV3000智能型排氣節流閥，可根據客戶要求在訂貨時設置法蘭形式。
• ATV3000 智能排氣節流閥只能在外部提供直流電源（+24VDC）時使用。

• 速度（開到關）：1.5秒
• 驅動方式：直接齒輪傳動
• 閥門電機環境工作溫度：-20 到 +40