GPC3000壓(ya)力(li)(li)(li)(li)流量控(kong)制(zhi)器主要為電(dian)(dian)容壓(ya)力(li)(li)(li)(li)計(ji)提供電(dian)(dian)源（±15VDC），接收(shou)并顯示來自它的(de)壓(ya)力(li)(li)(li)(li)信號，連接節(jie)流閥，并使用(yong)PID或自整(zheng)定功能控(kong)制(zhi)壓(ya)力(li)(li)(li)(li)。其中，如果使用(yong)自整(zheng)定功能，則通過檢測流入腔室的(de)氣體量、泵速、閥位引起的(de)真空壓(ya)力(li)(li)(li)(li)變化等重要參數(shu)來獲取壓(ya)力(li)(li)(li)(li)控(kong)制(zhi)因素。如果用(yong)戶使用(yong)此(ci)功能來控(kong)制(zhi)壓(ya)力(li)(li)(li)(li)，可以更快地達到所(suo)需壓(ya)力(li)(li)(li)(li)。內置(zhi)兩個過程(cheng)限位繼電(dian)(dian)器，幫助(zhu)用(yong)戶設(she)備過程(cheng)。

• 作為一個選項，GPC3000 有一個PCB 卡，至多可連接4 個MFC，每個PCB 包含2 個通道（連接2 個MFC）。
• GPC3000 的設計非常方便且易于通過本地（前面板）、I/O 或RS-232 遠程（RS-485 選項）進行控制。

• 壓力輸入信號：標準：0-10 VDC
• 所需輸入功率：90-132 或 180-264 VAC，50/60 赫茲
• 控制器重復性：±0.1% FS
• 輸出功率：±15 VDC  ±5% @ 1.5 安培
• 模擬輸出信號：0-10 VDC 用于 0-100% 閥門位置和 0-10 VDC 用于 1-100%，FS 壓力
• 尺寸：1/2-機架包裝：88mm H x 241mm W x 225 D