FV50D XL 擴散(san)器(qi)是(shi)通過小化負載鎖定排(pai)氣周期時間來(lai)可靠地增加系統吞(tun)(tun)吐量的(de)(de)(de)選擇(ze)。 這款二代(dai)擴散(san)器(qi)可以承受更高(gao)的(de)(de)(de)工作(zuo)壓(ya)力 (60 psig)，額定循環次數為 100 萬次，從而大(da)(da)大(da)(da)提高(gao)了(le)性(xing)能并降(jiang)低了(le)擁有成本。 我(wo)(wo)們(men)的(de)(de)(de) Chambergard系列(lie)產品可快(kuai)速排(pai)放到(dao)大(da)(da)氣中(zhong)，而不(bu)會干擾腔室中(zhong)的(de)(de)(de)晶(jing)圓(yuan)或向晶(jing)圓(yuan)添(tian)加顆粒。 它(ta)們(men)將擴散(san)器(qi)的(de)(de)(de)流(liu)動(dong)特性(xing)與過濾(lv)器(qi)相結合，以提高(gao)吞(tun)(tun)吐量。 憑借(jie)我(wo)(wo)們(men)的(de)(de)(de)全(quan)球(qiu)基礎設施，我(wo)(wo)們(men)可以提供 Chambergard 快(kuai)速排(pai)氣擴散(san)器(qi)，以滿足您在全(quan)球(qiu)范圍內的(de)(de)(de)需求。

額定循環次數為 1,000,000 次，設計用于在更高的入口(kou)壓力下運行

緊湊(cou)型擴散器單元中(zhong)的(de)燒結鎳(nie)技術可(ke)在所有(you)應用中(zhong)提供(gong)良好的(de)性能(neng)

從進入的(de)(de)氣體中去除(chu)大(da)于 0.0015 µm 的(de)(de)顆粒，大(da)限度(du)地減(jian)少晶圓缺陷(xian)

易于安裝(zhuang)/改裝(zhuang)到(dao)現有工具(ju)中，大限(xian)度地減少(shao)停(ting)機時間