Chambergard BGN 擴散(san)(san)器(qi)使(shi)用燒結鎳(nie)(nie)過(guo)濾器(qi)元件(jian)快速擴散(san)(san)進入(ru)(ru)的(de)氣(qi)流，使(shi)負載鎖定(ding)和/或(huo)傳輸室以(yi)更高(gao)的(de)速度填充，而(er)不(bu)會產(chan)生(sheng)顆粒干擾或(huo)過(guo)度湍流。 BGN 擴散(san)(san)器(qi)的(de)高(gao)保持性鎳(nie)(nie)元素可去除進入(ru)(ru)氣(qi)體中的(de)亞微(wei)米顆粒污染物并迅速排放到(dao)大(da)氣(qi)中，從(cong)而(er)減少(shao)晶圓(yuan)缺陷并縮(suo)短(duan)循(xun)環時(shi)間。 BGN 擴散(san)(san)器(qi)旨在滿足(zu)平板(ban)顯示器(qi)和 300 毫米工具客戶的(de)需(xu)求(qiu)，以(yi)提(ti)升效(xiao)率、縮(suo)短(duan)腔(qiang)室排氣(qi)時(shi)間并提(ti)高(gao)產(chan)量(liang)。 憑借(jie)我們的(de)全球基(ji)礎設(she)施，我們可以(yi)提(ti)供 Chambergard BGN 快速通(tong)風(feng)擴散(san)(san)器(qi)，以(yi)滿足(zu)您在全球范圍內(nei)的(de)需(xu)求(qiu)。

燒結鎳技(ji)術可在所有應(ying)用中提(ti)供良好的(de)性(xing)能

設(she)計能夠從進(jin)入的氣(qi)體中去除大(da)于 0.0015 µm 的顆(ke)粒，從而(er)大(da)限度地減少晶圓(yuan)缺陷(xian)

易于安裝/改裝到現有工具中，大限度(du)地減少停機時間