Entegris 采用(yong)(yong)創(chuang)新(xin)的(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)技術解決當今流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)難題。InVue 集(ji)成(cheng)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器 (IFC) NT6510 專為(wei)超純(chun)液(ye)體化(hua)(hua)學(xue)(xue)品(pin)(pin)、去離子(zi)水(shui)和 CMP 泥漿的(de)(de)(de)(de)(de)使用(yong)(yong)點化(hua)(hua)學(xue)(xue)品(pin)(pin)混合和分配(pei)而設計(ji)。NT6510 控(kong)制(zhi)器還設計(ji)用(yong)(yong)于有效控(kong)制(zhi)產生(sheng)氣泡的(de)(de)(de)(de)(de)介(jie)質，專為(wei)需(xu)要中(zhong)低(di)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)應用(yong)(yong)而設計(ji)。它是目前較小的(de)(de)(de)(de)(de) InVue 集(ji)成(cheng)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器，為(wei)液(ye)體處(chu)理(li)系統節省(sheng)了寶貴的(de)(de)(de)(de)(de)空間。我們的(de)(de)(de)(de)(de) IFC 采用(yong)(yong)成(cheng)熟(shu)可(ke)(ke)靠的(de)(de)(de)(de)(de)壓差流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)技術和新(xin)型的(de)(de)(de)(de)(de)閉環(huan)過程控(kong)制(zhi)。可(ke)(ke)視化(hua)(hua)指示器可(ke)(ke)為(wei)預(yu)防性維護(hu)、故障排除和報警(jing)條件(jian)(jian)提供診斷(duan)，使用(yong)(yong)戶(hu)能夠集(ji)成(cheng)更準確的(de)(de)(de)(de)(de)功能。閥座(zuo)和隔膜的(de)(de)(de)(de)(de)設計(ji)可(ke)(ke)大限度地減少死體積和流(liu)(liu)(liu)體剪切(qie)力，從而降低(di)工藝污染的(de)(de)(de)(de)(de)可(ke)(ke)能性。InVue IFC 的(de)(de)(de)(de)(de)潤(run)濕部件(jian)(jian)采用(yong)(yong)氟化(hua)(hua)材料，是保護(hu)化(hua)(hua)學(xue)(xue)完整性的(de)(de)(de)(de)(de)適配(pei)選擇。此外(wai)，耐化(hua)(hua)學(xue)(xue)腐蝕的(de)(de)(de)(de)(de)非潤(run)濕部件(jian)(jian)在惡劣的(de)(de)(de)(de)(de)化(hua)(hua)學(xue)(xue)環(huan)境中(zhong)也能發揮優良的(de)(de)(de)(de)(de)性能。InVue IFC 采用(yong)(yong)雙聚四氟乙(yi)烯閥隔膜，用(yong)(yong)于流(liu)(liu)(liu)體密封(feng)和污染保護(hu)。利用(yong)(yong)電(dian)動閥和流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)技術，封(feng)裝的(de)(de)(de)(de)(de)內部電(dian)子(zi)元件(jian)(jian)可(ke)(ke)控(kong)制(zhi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器的(de)(de)(de)(de)(de)所有方(fang)面。這些裝置由設定點信號(hao)（例(li)如 4 - 20 mA、0 - 10 VDC）激活，以將流(liu)(liu)(liu)體流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)保持在所需(xu)的(de)(de)(de)(de)(de)設定點。

與其(qi)他常用技(ji)術相比，在易產(chan)生氣泡的介質中精(jing)度高

內置(zhi)壓(ya)力(li)傳感器，可(ke)同時進行流量和壓(ya)力(li)雙輸出

占地面積(ji)小，節(jie)省空間，易于安(an)裝

重復性高，可實現優(you)良(liang)的過程控(kong)制

快速響應，實現準確的分配率(lv)

LED 狀態和離散報警輸出

產地：美國

潤濕部件材質：

閥體、閥膜： PTFE；

傳感器接(jie)口： CTFE 或 PFA；

主 O 形(xing)圈： Perfrez PXC Ultra

非潤濕部件(jian)：聚丙烯(xi)、PVDF、Viton、聚氨酯和尼(ni)龍（除(chu)上述(shu)材(cai)料外）

工作(zuo)范圍%：滿(man)量程(cheng)流量的 10 至 100

流量控制精(jing)度：± 全量程的 1 %（使用(yong) 23 °C [73 °F] 的去離子水校準(zhun)）

重復(fu)性：± 0.5 % 滿(man)量(liang)程(cheng)

壓(ya)力測量：0 至 414 kPa (0 至 60 psig)

壓力精(jing)度：± 全量(liang)程(cheng)的 1 %

工作(zuo)壓(ya)力：69 至 414 kPa (10 至 60 psig)

Min差壓要求(qiu)：10 psi，差壓

輸出(chu)信號：兩個 4 至(zhi) 20 mA 電氣隔離(li)輸出(chu)，一(yi)個用(yong)于(yu)(yu)流量，一(yi)個用(yong)于(yu)(yu)壓力

響應(ying)時間(jian)：< 3 秒

過壓限制：690 kPa (100 psig)

過程(cheng)溫度(du)：10 至 65 °C (50 至 149 °F)

電氣輸(shu)入：24 VDC（± 10 %），1.2 A

設(she)定點輸入(ru)信號：4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC

外殼：IP64

重量(liang)：約 1.8 kg（4.0 磅）

符合認證：CE

軟件：基于 Windows 的界面，用(yong)于用(yong)戶(hu)設置、校(xiao)準(zhun)、監控和數據(ju)收集(ji)

系統要(yao)求：Windows 7 或 10，8GB 內存(cun)（Min）

當(dang)前(qian)軟件版本 InVue TechTool 1.0.1.3

關鍵分配應(ying)用、化學(xue)品(pin)添加和混合、按需(xu)化學(xue)混合