Entegris 正在使用(yong)(yong)創(chuang)新(xin)的(de)(de)(de)流(liu)(liu)量(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)技術(shu)解決當今的(de)(de)(de)流(liu)(liu)量(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)挑(tiao)戰。 6550 型(xing) InVue集(ji)成(cheng)流(liu)(liu)量(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器(qi) (IFC) 專(zhuan)為(wei)散(san)裝(zhuang)化學(xue)品(pin)流(liu)(liu)量(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)而設計。 IFC 6550 型(xing)設計的(de)(de)(de)流(liu)(liu)速為(wei) 60、90 或 120 L/min，非常適合用(yong)(yong)于(yu)次晶圓廠散(san)裝(zhuang)化學(xue)品(pin)輸送應(ying)用(yong)(yong)以及需要高流(liu)(liu)量(liang)的(de)(de)(de)液體處(chu)理系統。集(ji)成(cheng)流(liu)(liu)量(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)采用(yong)(yong)成(cheng)熟可靠的(de)(de)(de)差(cha)壓(ya)流(liu)(liu)量(liang)測量(liang)技術(shu)和(he)先(xian)進的(de)(de)(de)閉環過(guo)程控(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)。 視(shi)覺指示器(qi)為(wei)預(yu)防性(xing)維護(hu)、故(gu)障排除和(he)警(jing)報狀況提供診斷，使用(yong)(yong)戶能(neng)夠集(ji)成(cheng)更多的(de)(de)(de)過(guo)程功能(neng)。InVue 集(ji)成(cheng)流(liu)(liu)量(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)器(qi) 6550 型(xing)設計用(yong)(yong)于(yu)超純液體化學(xue)品(pin)、去離子水和(he) CMP 漿料應(ying)用(yong)(yong)。 它還設計用(yong)(yong)于(yu)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)氣泡產生介(jie)質(zhi)。

• 使用成熟可靠的差壓流量測量技術和先進的閉環過程控制
• 視覺指示器為預防性維護、故障排除和警報狀況提供診斷
• 集成壓力傳感器提供額外的過程信息
• 使用氣泡產生介質經過驗證的測量和控制
• 堅固的設計提供穩定性和長期可靠性
• 設計為 60、90 或 120 L/min流速