Entegris 是微(wei)電子(zi)行業空氣分子(zi)污染 (AMC) 控制領域(yu)的(de)(de)佼佼者。 我(wo)們的(de)(de) VaporSorb CSP-32 化學(xue)空氣過(guo)濾(lv)器(qi)為(wei)曝光(guang)工具(ju)光(guang)學(xue)元(yuan)件(jian)和(he)(he)光(guang)刻膠提供(gong)保(bao)護。 CSP-32 過(guo)濾(lv)器(qi)包(bao)含碳(tan)和(he)(he)聚合(he)化學(xue)介(jie)質的(de)(de)獨(du)特組合(he)，可針(zhen)對并去除分子(zi)酸（如(ru) HCl、H2SO4 和(he)(he) HNO3）、酸形成物(wu)(wu)質（如(ru) SO2）、分子(zi)堿（如(ru) NH3、NMP 和(he)(he) 胺）和(he)(he)可冷凝有機化合(he)物(wu)(wu)，定義為(wei)沸點大于 150°C (302°F) 和(he)(he)/或(huo)分子(zi)量(liang)大于 120 的(de)(de)化合(he)物(wu)(wu)。專門設(she)計用于 Entegris 的(de)(de)定制過(guo)濾(lv)器(qi)外(wai)(wai)殼，例如(ru) E1250、Ex2600 和(he)(he) E3000、VaporSorb CSP-32 過(guo)濾(lv)器(qi)以(yi)(yi)串聯方式使用，以(yi)(yi)提供(gong)保(bao)護，防止意外(wai)(wai)和(he)(he)升高的(de)(de)污染事件(jian)，包(bao)括(kuo)意外(wai)(wai)的(de)(de)溶劑和(he)(he)顯影劑化學(xue)品泄漏。

不對稱濾波器設計可(ke)防止(zhi) HDMSO 轉換為 TMS

去除酸、堿和可冷凝(ning)的有機物

折疊式過濾器設計采用(yong)剛性深框

低(di)壓降使多個(ge)保護層的串聯過濾器布局(ju)成為可能

堆棧間(jian)采樣端口，便于監控