VaporSorb系列混合化學空氣(qi)過(guo)濾器(qi)旨在(zai)為 22 納米以下(xia)節點的(de)先(xian)進半導體制造環境提供(gong)保護。 Entegris VaporSorb 過(guo)濾器(qi)有(you)助于降低高流量設施應用(yong)(yong)中(zhong)不需要(yao)的(de)空氣(qi)分(fen)子污(wu)染(ran) (AMC) 水平。 Entegris VaporSorb FAC 過(guo)濾器(qi)可針對(dui)任何類(lei)型的(de)空氣(qi)處理(li)裝置安裝進行配置，并且特別(bie)適合補充空氣(qi) (MUA) 和(he)回風處理(li) (RAH) 應用(yong)(yong)。 Entegris VaporSorb FAC 過(guo)濾器(qi)使用(yong)(yong)我們廣泛的(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)環境水平數(shu)據庫(ku)設計(ji)，以提供(gong)大的(de)效率和(he)污(wu)染(ran)物去除。

提供保護，防止強酸和弱酸以及有(you)機物(wu)和堿(jian)（如氨），減少晶圓缺陷，提高產量(liang)并延(yan)長(chang)設備正(zheng)常(chang)運行時間

具有(you)優化的吸附劑混合物的特定應用過濾器針對并去除每個工藝(yi)工具關注的污染物，大限(xian)度地(di)減少介質浪費并延(yan)長使用壽命

任何(he) FFU、工具內(nei)、設備工廠(chang)接口或過程模塊安裝(zhuang)的靈活配置簡化了安裝(zhuang)和集成

Entegris 擁有的(de)過(guo)濾器制造為特定于晶圓廠的(de)優化介質提供快速(su)周(zhou)轉