12.1 閘閥配備了(le) VATLOCK 技術(shu),該技術(shu)專(zhuan)門開(kai)發用(yong)于提供可(ke)靠的密封而沒有(you)任何摩擦,從而避免了(le)顆粒的產生。
12.1 系(xi)列(lie)已安裝在(zai)各(ge)種工藝條件下的數(shu)千種苛刻應(ying)用中,證明了其(qi)可靠(kao)性。它已成為壓力范圍高達 < 10-7 mbar 的真(zhen)空(kong)隔(ge)離的標(biao)準(zhun)解決方案,例如與渦輪分子泵有關。憑借堅(jian)固的設計(ji)和直接安裝選項,以及由于其(qi)分體式機(ji)身而減少且易于維護,12.1 系(xi)列(lie)輕松(song)滿足所有標(biao)準(zhun)要求。驅動、法蘭連接或附加真(zhen)空(kong)端口的各(ge)種設計(ji)選項使(shi)其(qi)易于集成到任何真(zhen)空(kong)應(ying)用中。
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