59.0 UHV 全(quan)金(jin)屬(shu)可(ke)變泄漏閥允許準確控(kong)制非常小的(de)氣(qi)體流(liu)量(1·10-10 mbar ls)。 憑借其(qi)全(quan)金(jin)屬(shu)設計(ji),它非常適合(he) UHV 和UHV 工藝中的(de)氣(qi)體計(ji)量要求。
59.0 的(de)特殊控(kong)(kong)制(zhi)功能保(bao)證了(le)(le)可重(zhong)復的(de)準確氣體(ti)流量設置(zhi),增(zeng)強(qiang)了(le)(le)過(guo)程控(kong)(kong)制(zhi)能力。它還在整個生命周期內提供可靠、無泄漏的(de)關閉,沒(mei)有任何密封疲勞(lao)的(de)風險。
全金屬設計——不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘門密封——使(shi) 59.0 還具有(you)對腐(fu)蝕(shi)性和腐(fu)蝕(shi)性氣體的高耐受性。
59.0 已經(jing)安(an)裝在各種工(gong)藝條件下(xia)的數千種苛刻應用中,證(zheng)明了(le)其可靠性(xing)。它(ta)已成(cheng)為 UHV 和 XHV 應用中可變泄漏閥的標準(zhun)解決方案。
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