快速(su)關(guan)閉(bi)閥門的(de)主要(yao)要(yao)求是(shi)在(zai)出(chu)現空氣涌入的(de)情況下能(neng)夠快速(su)可靠(kao)地(di)做出(chu)反(fan)應(ying)。由于(yu)泄漏導致 UHV 或 XHV 環(huan)(huan)境的(de)損失，尤其是(shi)在(zai)加(jia)速(su)器或儲存環(huan)(huan)等大容量環(huan)(huan)境中，可能(neng)會導致污染方(fang)面的(de)重大問題，以及恢復所(suo)需真空水平所(suo)需的(de)努力。

75.2 UHV 快(kuai)速(su)關閉(bi)閥系(xi)(xi)列可(ke)在(zai)壓(ya)力升高時通過快(kuai)速(su)關閉(bi)反應保護真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)。該系(xi)(xi)列在(zai) 10 毫(hao)秒以(yi)下(xia)（取決于閥門直(zhi)徑）以(yi)很快(kuai)的速(su)度(du)關閉(bi)真(zhen)(zhen)空(kong)管(guan)路。關閉(bi)后，閥門密封 < E-9 mbarl/s。由于任何(he)毫(hao)秒都可(ke)以(yi)防止損壞程度(du)，因(yin)此 75.2 設定了(le)保護基(ji)準。

75.2 設計(ji)為(wei)閘(zha)閥 (DN 40)，采(cai)用氣(qi)動(dong)驅(qu)動(dong)。標準烘烤(kao)溫度高(gao)。閥體max. 200°C執行器為(wei) 50°C。閥蓋采(cai)用金(jin)屬(shu)密(mi)封，閘(zha)門密(mi)封采(cai)用 FKM，焊接金(jin)屬(shu)波紋管密(mi)封饋通(tong)。

快(kuai)速(su)關(guan)閉閥由單(dan)獨的(de)控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)(qi)控(kong)制(zhi)(zhi)。控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)(qi)通(tong)過定期(qi)檢(jian)查系統、傳(chuan)感器(qi)(qi)及其連接的(de)就緒(xu)狀(zhuang)態(tai)來確保快(kuai)速(su)關(guan)閉時(shi)間。該(gai)控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)(qi)是模塊(kuai)化的(de)，可(ke)以(yi)針對不(bu)同的(de)閥門/傳(chuan)感器(qi)(qi)布(bu)置(zhi)(zhi)進行配置(zhi)(zhi)。快(kuai)速(su)關(guan)閉閥的(de)狀(zhuang)態(tai)也由控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)(qi)提供(gong)遠(yuan)程輸(shu)出。反之(zhi)亦然，閥門可(ke)以(yi)通(tong)過控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)(qi)上的(de)接口(kou)進行遠(yuan)程控(kong)制(zhi)(zhi)。

75.2 UHV 快速(su)關閉(bi)閥系(xi)列已經(jing)在各種(zhong)工(gong)藝條件下的(de)加速(su)器和(he)儲存環設施中得到證明(ming)，已成為(wei)可靠(kao)的(de) UHV 和(he) XHV 系(xi)統保護的(de)標(biao)準。