采用(yong) L-Motion 技術(shu)(shu)的(de) 053 Transfer Insert 特(te)別適用(yong)于(yu)蝕刻(ke)或(huo) CVD 等腐(fu)蝕工(gong)藝(yi)。L-Motion 技術(shu)(shu)通(tong)過單軸氣動執行(xing)器提供閘門(men)的(de) L-motion。在(zai)這(zhe)種 L 運(yun)動中，閘板(ban)垂(chui)直(zhi)移動到(dao)(dao)關閉位置，與閥(fa)(fa)體沒(mei)有任(ren)何(he)接觸，在(zai)最后的(de)運(yun)動中，它(ta)被(bei)水(shui)平推到(dao)(dao)閘閥(fa)(fa)座(zuo)上，密封(feng)件同(tong)時以完全相同(tong)的(de)壓力接觸閘板(ban)座(zuo)。這(zhe)不僅(jin)避免了(le)任(ren)何(he)摩擦和(he)潛在(zai)的(de)顆粒產生，還大限度地減少了(le)密封(feng)磨損。

為(wei)了進一步(bu)減少(shao)顆粒(li)的產生和活(huo)化(hua)(hua)，閘門配有(you)硫(liu)化(hua)(hua)密(mi)封(feng)件。這是一種比標(biao)準 O 型圈密(mi)封(feng)更可靠、更耐用的密(mi)封(feng)解決(jue)方(fang)案，盡管標(biao)準 O 型圈密(mi)封(feng)作為(wei)選項提(ti)供。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密(mi)封(feng)。

為了(le)(le)確保閘門(men)的(de)整(zheng)個(ge)(ge)長(chang)度具有相同的(de)密(mi)封水平，閘門(men)配備了(le)(le)一個(ge)(ge)特殊的(de)壓桿。該條保證(zheng)了(le)(le)澆(jiao)口每個(ge)(ge)區域的(de)密(mi)封壓力均(jun)勻(yun)分布(bu)。

在(zai)斷電的(de)情況下，05.3可以氣動鎖定在(zai)關閉位置。

帶 L-Motion 的 05.3 轉換插(cha)件專為延長免(mian)維護(hu)操作(zuo)而設計（≤ 3 百萬(wan)次(ci)循(xun)環，直到第一次(ci)服務）。

053 系(xi)列已(yi)安裝在(zai)各(ge)種半導體生(sheng)產(chan)工藝中的數百個要求苛刻的應用中，證明了其可靠性。053 系(xi)列具有堅固的設(she)計以及減少和易于維(wei)護的特點，在(zai)各(ge)個方面都令人信(xin)服。

• 在腐蝕性過程條件下可靠運行
• L-Motion 技術可避免粒子產生和激活
• 用于均勻澆口壓力分布的壓桿
• 波紋管密封軸饋通
• 延長免維護周期
• 平穩、低沖擊運動
• 正常運行時間長/性能不受限制
• 快速操作
• 運營成本低