168 大(da)型(xing) HV 擺式(shi)隔(ge)離(li)閥即使(shi)在(zai)惡(e)劣的工(gong)藝條件(jian)下(xia)也能提供可(ke)靠(kao)的隔(ge)離(li)性能。它非常(chang)適(shi)合大(da)流量應用中的隔(ge)離(li)要(yao)求，例如大(da)型(xing)涂層或(huo)顯示(shi)器生產系(xi)統。因此(ci)，它提供 DN 400 和 500mm 兩種(zhong)規(gui)格。168 閥門提供可(ke)選的 3 位氣(qi)動或(huo)標(biao)準氣(qi)動，均(jun)為(wei)雙作(zuo)用。

憑借(jie)其特(te)殊(shu)的(de)分體式(shi)設(she)計，無需拆卸管道連接(jie)或工藝室(shi)(shi)連接(jie)即可(ke)進(jin)行維(wei)護。其纖薄的(de)設(she)計允許將 168 直(zhi)接(jie)安裝到制程腔體，從而消(xiao)除了例(li)如腔室(shi)(shi) - 閥門 - 泵連接(jie)中(zhong)通常需要(yao)的(de)體積。

憑借其堅固的設計以及多種設計選項(xiang)，168 系(xi)列易于(yu)集(ji)成到各種真空工藝中。

168系列已在(zai)全球(qiu)數百個批量和在(zai)線生(sheng)產系統中安裝在(zai)各(ge)種工藝條件下(xia)，已在(zai)各(ge)個方面證明了(le)其性能。

• 大真空量的可靠隔離
• 在惡劣條件下也能提供可靠的性能
• 采用狹縫式機身設計，維護快捷方便
• 正常運行時間長
• 運營成本低
• 可根據工藝要求進行調整