產品介紹
CMP化學(xue)空氣過濾器對 22 nm 及以下波長的各種空氣分子污(wu)染物提供全面保(bao)護。保(bao)護工藝設備和(he)晶圓(yuan)免受(shou)空氣分子污(wu)染的破(po)壞性影響(xiang)。
性能特點
- 防止 22 nm 及以下的 AMC
- 針對酸性污染物的平衡介質混合
- 去除關鍵的酸、堿和有機物以降低污染風險
技術參數
CMP化學(xue)空氣過濾器對 22 nm 及以下波長的各種空氣分子污(wu)染物提供全面保(bao)護。保(bao)護工藝設備和(he)晶圓(yuan)免受(shou)空氣分子污(wu)染的破(po)壞性影響(xiang)。
Copyright© 2013-2023 上海連航機電科技有限公司 版權所有
地址：上海市寶山區滬太路1866號諾誠M7創意園B區211
電話 (Tel.)：400-135-1288 傳真 (Fax)：400-135-1288 郵箱 (E-mail)：
｜
掃描微信二維碼關注我們
