我們的超穩(wen)定(ding)差分(fen)激光干(gan)涉儀SP 5000 DI具有獨特的熱穩(wen)定(ding)性，因此(ci)是研發中長(chang)期測(ce)量(liang)的選(xuan)擇，例如用于材料(liao)性能分(fen)析。

與標準(zhun)干(gan)涉(she)儀不同，在差分(fen)型中(zhong)，參(can)考光(guang)束(shu)(shu)從傳感器(qi)頭引(yin)出，并平行于(yu)測量(liang)光(guang)束(shu)(shu)。這一概念允許將傳感器(qi)放置(zhi)在離實(shi)際(ji)測量(liang)位置(zhi)更(geng)大的(de)距離處，而不會(hui)顯著影響測量(liang)的(de)分(fen)辨率或穩(wen)定(ding)性(xing)。該干(gan)涉(she)儀的(de)長度分(fen)辨率在亞納米(mi)范圍(wei)內(nei)，并且由于(yu)微分(fen)原理，即(ji)使在正常(chang)的(de)實(shi)驗室(shi)條件(jian)下，也(ye)可以在類(lei)似的(de)測量(liang)或光(guang)束(shu)(shu)長度下實(shi)現。

如果使用(yong)傾斜不變(bian)反射器(qi)進行(xing)測量(liang)，則長度測量(liang)的測量(liang)范圍(wei)可以是(shi)幾米。干(gan)涉測量(liang)系(xi)統(tong)具有模塊化設計(ji)，并且(qie)因此可以適用(yong)于相應的測量(liang)任務。

調整很簡單，特別是可以長期穩定地實現。對基(ji)于SP 5000 DI干涉儀的干涉多軸系統的擴展允許同時進行多坐(zuo)標(biao)測量。

• 高精度的差動長度或角度測量
• 通過差分測量更小化環境影響
• 熱長期穩定傳感器，溫度靈敏度<20 nm/K
• 可以使用各種光學反射器，例如球面、平面反射鏡反射器
• 測量反射鏡的大傾角不變性
• 標準不銹鋼傳感器頭設計
• 光束距離：21毫米
• 廣泛的觸發器選項
• Windows和Linux下OEM軟件的開放接口

球(qiu)反射器直徑15毫米

球形反射器單元

環境校正

產地：德國

位移測量范圍(wei)：5 m

位(wei)移分辨率：5 pm

角度測量范圍

帶反射器：±12.5°

帶平(ping)面鏡（建議距離(li)≤2m）：±1.5弧(hu)分

光束距離（標準(zhun)）：21 mm

波長：632.8 nm

HeNe激(ji)光器的頻率(lv)穩(wen)定性（預熱時間之后）：2·10-8

HeNe激光器的預熱時間：10 ... 20 min

工作溫度范圍：15 ... 30°C

測量反射鏡的位(wei)移(yi)速(su)度(du)：max.3 m /s

傳感器頭(tou)和電子(zi)單元之(zhi)間(jian)的電纜(lan)長(chang)度：3 m，max.10 m

電(dian)源：100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸（長x寬x高）

傳感(gan)器頭（帶基板）：150 x 140 x 43 mm

電子供應和評估單元（標準）：450 x 400 x 150 mm

電子(zi)供應(ying)和評估單(dan)元(yuan)（緊湊）：250 x 400 x 150 mm

重量

感測頭：2.0 kg

底盤：1.5 kg

差(cha)分(fen)激光干涉儀可(ke)作為(wei)OEM版(ban)本提(ti)供(gong)，可(ke)作為(wei)編碼器(qi)安裝在機器(qi)軸上。對于真空測量，SP 5000 DI可(ke)作為(wei)真空優(you)化版(ban)本提(ti)供(gong)。

標(biao)準光束距離(li)為21毫米。我們可根據要(yao)求提供其(qi)他光束距離(li)。