產品介紹
SWAGELOK SCF 系(xi)列 UHP 氣體過(guo)濾器旨在滿足 SEMI E49.8-96 的嚴格要求。 憑借(jie)專(zhuan)有的 Membralox 陶瓷(ci)元(yuan)件和(he) 316L VAR 不銹鋼外殼，SCF 系(xi)列 UHP 過(guo)濾器是(shi)許多要求苛刻的氣體過(guo)濾應用的解(jie)決方案。
性能特點
Membralox陶瓷過濾技(ji)術
原裝 Swagelok VCR 端面密封(feng)接頭(tou)
在大(da)流速下 0.003 µm 顆粒去(qu)除(chu)率大(da)于 99.9999999 %
流量(liang)達(da) 2700 標準升/分鐘
高顆粒去除效率
低的顆粒脫落
良好的(de)的(de)水分(fen)干(gan)燥特性
低的釋氣
良好的的化學相容性
高差壓等級
直列式全焊接結構
大流速：30、225、600、900 和 2700 標(biao)準(zhun)升/分鐘
端接(jie)(jie)：1/4、1/2 和 3/4 英寸一體式(shi)外螺紋(wen) VCR 面密封(feng)接(jie)(jie)頭(tou)； 1/4 英寸內螺紋(wen) VCR 面密封(feng)接(jie)(jie)頭(tou)
選型指南
技術參數
