HPD 4 K 低(di)溫(wen)晶圓(yuan)探(tan)針(zhen)是一(yi)種高(gao)精度全自(zi)動探(tan)針(zhen)臺，適用(yong)于 4 K 環境中的 150 毫米和(he)(he) 200 毫米基板。為了加速(su)商用(yong)量(liang)(liang)子和(he)(he)超(chao)導(dao)計算機的實現，我(wo)們(men)為芯(xin)片開發人(ren)員提供(gong)了智(zhi)能迭代設(she)(she)計所需的工具。4 K 低(di)溫(wen)晶圓(yuan)探(tan)測器集(ji)成了可(ke)配(pei)置的 DC 和(he)(he) RF 電(dian)纜，以及可(ke)用(yong)于測試配(pei)置的更大靈活性的定(ding)制探(tan)針(zhen)卡(ka)。具有集(ji)成磁屏蔽(bi)的穩健設(she)(she)計提供(gong)了必(bi)要(yao)的穩定(ding)環境條件，以確(que)保為敏感的超(chao)導(dao)設(she)(she)備(bei)(bei)提供(gong)高(gao)質量(liang)(liang)的數(shu)據。全自(zi)動晶圓(yuan)裝載和(he)(he)復雜的 Velox 軟件套件允許進(jin)行(xing)高(gao)吞吐量(liang)(liang)測試和(he)(he)無人(ren)值(zhi)守(shou)操(cao)作，以快速(su)獲(huo)取數(shu)據。FormFactor 長期的探(tan)測知識和(he)(he)數(shu)十年的準確(que)低(di)溫(wen)經驗(yan)在該(gai)系(xi)統(tong)中相結合(he)，將(jiang)超(chao)導(dao)設(she)(she)備(bei)(bei)的測試和(he)(he)測量(liang)(liang)從實驗(yan)室帶入晶圓(yuan)廠。

環境控制

• 晶圓溫度驗證 <4.5 K（44 個射頻探頭接觸）
• 磁場抑制<200 nT
• 高度均勻的晶圓溫度
• 準確的熱穩定性和控制
• 堅固的花崗巖底座結構可實現準確的運動和振動控制

靈活性

• 輕松更換可定制的探針卡
• 可配置為 150 毫米或 200 毫米晶圓
• 多達 56 個射頻同軸電纜（高達 18 GHz）
• 多達 520 條直流線路

自動化

• 全自動晶圓裝載或手動選項
• 用于手動、半自動或全自動探測的完整軟件套件

數據獲取時間

• 25 個晶圓盒容量，用于全自動測試
• 每個晶圓約 15 分鐘的冷卻時間
• 用于快速模具到模具運動的高速運動平臺

用于快速(su)穩定時間的剛性運動堆棧

量子計(ji)算(suan)、超導芯片開(kai)發、量子信息科學(xue)