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FORMFACTOR手動探針系統PM8

產品介紹

FormFactor 的(de) Cascade PM8 手動探(tan)針系(xi)統旨(zhi)在為(wei)高(gao)達 200 mm 的(de)分析(xi)(xi)探(tan)測應用(yong)提供高(gao)度穩定、符合人體工程學(xue)和(he)靈(ling)活的(de)探(tan)測平(ping)臺,例如器件和(he)晶圓表征、故障分析(xi)(xi) (FA)、RF/mmW/sub-THz探(tan)測和(he) MEMS。創新的(de)精(jing)細(xi)滑(hua)動卡盤(pan)平(ping)臺提供大(da)范圍粗動和(he)微米級微動,

簡化測(ce)量(liang)。花(hua)崗巖板可以承受任(ren)何熱或機械(xie)影響,并確(que)保完整(zheng)的(de)(de)系(xi)統穩(wen)定性。PM8 的(de)(de)堅固結構(gou)非常適合所有高達(da)亞太赫茲范圍的(de)(de)射頻應用,由 WinCal XE 校(xiao)準(zhun)軟件(jian)支持,包括 LRRM、LRM+、NIST 風格的(de)(de) TRL 和混合校(xiao)準(zhun)方法。

獨(du)特(te)的(de)(de)可(ke)移動(dong)顯微鏡橋選(xuan)件可(ke)輕(qing)松且(qie)符(fu)合人體(ti)工程學地對高(gao)(gao)達 200 毫(hao)米的(de)(de)觀察系統(tong)進行(xing)粗調和微調,從(cong)而使所有 FA 和檢測任務以(yi)及晶圓級(ji)可(ke)靠性 (WLR) 測試(shi)變得(de)容易。PM8 可(ke)以(yi)使用(yong)(yong)各種附件進行(xing)升(sheng)級(ji),例(li)如用(yong)(yong)于 FA 應用(yong)(yong)的(de)(de)激光切割機和遙控手(shou)動(dong)定位器,以(yi)及用(yong)(yong)于校準基板和拋光墊的(de)(de)特(te)殊(shu)設計的(de)(de)卡(ka)盤,用(yong)(yong)于高(gao)(gao)頻應用(yong)(yong)。探針卡(ka)可(ke)以(yi)很容易地用(yong)(yong)于測試(shi),并(bing)且(qie)可(ke)以(yi)通(tong)過少的(de)(de)設置調整(zheng)來(lai)測試(shi)封裝(zhuang)的(de)(de)部件。

性能特點

  • 力學

高穩定性花崗巖底座

X 軸和 Y 軸的獨立粗略移(yi)動,結合(he)低至亞微(wei)米范圍的輕松微(wei)調

1 µm 可(ke)重復分離行程

高測量精度和可(ke)重復性

快速導航和高精度探頭定位

  • 高靈活性

可針對 DC、RF、mmW、FA、WLR 等重新(xin)配置

多種(zhong)附件:熱卡盤、電動顯微鏡和定位器(qi)、暗盒(he)等

40 毫米(mi)壓板高度可調

升級路(lu)徑以(yi)滿足(zu)您未來的需(xu)求

晶(jing)圓(yuan)和(he)封裝測試(shi)之間(jian)的快速轉換

  • 便于使用

低調、簡單的設計

簡單且符合(he)人體(ti)工程(cheng)學(xue)的操作

  • 雙面選項

正面或(huo)背面儀器,例如(ru):積分球、光纖設(she)置、壓(ya)力模塊

正面或背面探測能力

訪問被測設備 (DUT) 的頂部(bu)和(he)底部(bu)

高精度光測量

選型指南

可選功能與配件

PS-ACC-HDTV:

兼(jian)容(rong) EPS200MMW、EPS200RF、PM8-COAX-PCKG、PM8-COAX-HR-PCKG 和 PM8-FA-PCKG 的(de) C 接口(kou)數字電視選(xuan)項

技術參數

產品應用


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