產品介紹
VYPER 系(xi)列激光(guang)(guang)(guang)器是專為準分子激光(guang)(guang)(guang)退火 (ELA) 設計的(de)(de)多光(guang)(guang)(guang)束高(gao)功率準分子激光(guang)(guang)(guang)器。高(gao)分辨率移動顯示器制造的(de)(de)高(gao)質量需求需要高(gao)品位低溫多晶(jing)硅(gui) (LTPS)，該(gai)多晶(jing)硅(gui) (LTPS) 只(zhi)能使用準分子激光(guang)(guang)(guang)器制造。
這些激光器非常(chang)適合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光學(xue)器件。
性能特點
- 非常高的UV 功率，可實現高通量應用
- 能量穩定性，確保高產量
- EquiSwitch 同步提供低的抖動
- 激光數據采集可實現過程控制
- 密封和凈化的光束路徑，可實現穩定的長期運行
- 用于控制和快速數據采集的以太網接口
技術參數
產品尺寸
產品應用
準分子激光退火
脈沖激光沉積
