產品介紹
VYPER 系列(lie)激(ji)(ji)光器(qi)是專為(wei)準分(fen)子(zi)激(ji)(ji)光退(tui)火 (ELA) 設計的多光束高功率(lv)準分(fen)子(zi)激(ji)(ji)光器(qi)。高分(fen)辨(bian)率(lv)移動(dong)顯示器(qi)制(zhi)造的高質量需求需要高品位(wei)低溫多晶硅 (LTPS)，該多晶硅 (LTPS) 只能使用準分(fen)子(zi)激(ji)(ji)光器(qi)制(zhi)造。
這些激(ji)光器非常適合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和(he) LineBeam 1500 (TriVYPER) 光學器件。
性能特點
- 非常高的UV 功率，可實現高通量應用
- 能量穩定性，確保高產量
- EquiSwitch 同步提供低的抖動
- 激光數據采集可實現過程控制
- 密封和凈化的光束路徑，可實現穩定的長期運行
- 用于控制和快速數據采集的以太網接口
技術參數
產品尺寸
產品應用
準分子激光退火
脈沖激光沉積
