產品介紹
基于(yu)強大的(de)(de) COMPex 準分(fen)子(zi)激光(guang)器的(de)(de)系統是用于(yu)具(ju)有(you)線光(guang)束(shu)或方形(xing)光(guang)束(shu)場形(xing)狀的(de)(de)高(gao)質(zhi)量 UV 微加工的(de)(de)靈活工具(ju)。
光(guang)學設計、堅固(gu)的機械結(jie)(jie)構和具有脈沖間穩定性的準分子(zi)激(ji)光(guang)器可(ke)提供非(fei)常準確的結(jie)(jie)果(guo)。應用包括激(ji)光(guang)剝(bo)離(li) (LLO) 分離(li)、摻雜劑離(li)子(zi)激(ji)活、燒蝕圖案化和薄膜(mo)退(tui)火(huo)。
性能特點
- 高分辨率光學和機械結構確保可重復的結果
- 模塊化設計，提供靈活使用的定制選項
- 方光束和線光束場以獲得更優的結果
- 支持所有 COMPex 激光器型號以實現有效率的加工
技術參數
產品尺寸
產品應用
激光剝離分離
摻雜離子激活
燒蝕圖案
準分子激光退火
