產品介紹
基于(yu)強(qiang)大的 COMPex 準分子(zi)激光器(qi)的系統是用于(yu)具有線光束或方形光束場形狀(zhuang)的高質(zhi)量 UV 微加工的靈活工具。
光學設計、堅(jian)固的機械結(jie)構(gou)和具有脈沖間穩(wen)定性的準分子激光器可提供非(fei)常(chang)準確(que)的結(jie)果。應(ying)用包括激光剝離(li) (LLO) 分離(li)、摻(chan)雜劑離(li)子激活、燒蝕圖案化和薄膜退火。
性能特點
- 高分辨率光學和機械結構確保可重復的結果
- 模塊化設計，提供靈活使用的定制選項
- 方光束和線光束場以獲得更優的結果
- 支持所有 COMPex 激光器型號以實現有效率的加工
技術參數
產品尺寸
產品應用
激光剝離分離
摻雜離子激活
燒蝕圖案
準分子激光退火
