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產品介紹
Kit L系列直線光柵尺特別設計(ji)用(yong)(yong)于(yu)個性化的(de)應用(yong)(yong)。該系列產品不僅擁有(you)極(ji)小(xiao)的(de)尺寸，更提供配置能力。該系列產品幾乎不限制設計(ji)師的(de)設計(ji)自由。
性能特點
- 特殊真空版的Kit L2帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）
- 帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）
- 光柵尺部件滿足真空度達10 E-6 mbar（UHV）的氣壓要求
- 1 Vpp或RS 422輸出信號
- 多達100倍的細分信號
- 最小測量步距僅50 nm
- 運動速度達10 m/s（1 Vpp）
