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產品介紹
LIK系(xi)列光柵尺特別適用于(yu)安裝空(kong)間(jian)有(you)限的(de)應用。自(zi)帶2場EPIFLEX讀數(shu)模塊(kuai)，也適用于(yu)惡劣的(de)應用環(huan)境。
性能特點
- 真空版LIK 21，外殼版本1
- 帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）
- 光柵尺部件滿足真空度達10 E-9 mbar（UHV）的氣壓要求
- 支持150 °C時12小時的加熱周期
- 1 Vpp或RS 422輸出信號
- 多達100倍的細分信號
- 最小測量步距僅50 nm
- 運動速度達10 m/s（1 Vpp）
