iVacSens 系列真空(kong)傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)模塊是較小的(de)(de)(de)寬(kuan)量(liang)程多功能組合真空(kong)計。iVacSens 具有(you)全功能傳統真空(kong)傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)功能，校準(zhun)后即可(ke)交付(fu)使用。它專為在真空(kong)下操(cao)作(zuo)的(de)(de)(de)儀器(qi)(qi)（如質譜儀和掃(sao)描電子顯微鏡）中(zhong)的(de)(de)(de)設(she)備集成而設(she)計。iVacSens 基于創紀錄的(de)(de)(de) SmartPirani MEMS 熱損耗傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)，與傳統的(de)(de)(de)線式 Pirani、對流規和傳統 MEMS Pirani 相(xiang)比(bi)，具有(you)同類更好(hao)的(de)(de)(de)性能、更寬(kuan)的(de)(de)(de)測(ce)量(liang)范圍(wei)(wei)和更高的(de)(de)(de)精度。SmartPirani 傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)技術與隔膜傳感(gan)(gan)器(qi)(qi)相(xiang)結合，可(ke)在 2 至 1,333 mbar范圍(wei)(wei)內進(jin)行(xing)不受氣體影響(xiang)的(de)(de)(de)測(ce)量(liang)。

測量(liang)范圍寬達 7 個 10

用于過(guo)程控制(zhi)的 3 個數字設定點輸出

模擬電壓輸出

數(shu)字 UART 接(jie)口

數字 RS-485 接口

遠程零點調整

超緊湊設計

產地：丹麥

測量范圍：1x10^-6 至 13.33 mbar（7.5x10^-7 至 10 托）

測量原理 1x10^-6 至(zhi) 13.3 mbar：MEMS Pirani 熱(re)導率

精度 1x10^-5 至 9.99x10^-5 mbar：讀數的 25 %

精度 1x10^-4 至 9.99x10^-1 mbar：讀數(shu)的 5 %

精度(du) 1.0 至(zhi) 10 mbar：讀數的 30 %

磁滯 1x10^-3 至 9.99x10^-1 mbar：1 %

磁滯 1 至(zhi) 10 mbar：10 %

真空溫度傳感(gan)器范圍：-20 至 + 85°C

真空溫度傳感(gan)器精度：+/-1.5 °C

傳感器溫度傳感器范(fan)圍(wei)：-20 至 + 85°C

傳感器(qi)溫度(du)傳感器(qi)精度(du)：+/- 1.5 °C

模擬輸出：0.2- 1.55 VDC (150 mV/decade mbar/torr)

模擬輸出分辨率：12 位

模擬輸出更(geng)新率：124 Hz

響應(ying)時間(jian)：<20 ms

溫度補償：+10 至 +50 °C

設定點范圍（ABS）：5x10^-6 至 13.33 mbar（3.75x10^-6 至 10 托）

設(she)定(ding)點輸出高電平：>2.9 VDC

設定點輸出低電平：<0.4 VDC

Max設(she)定點輸出源電流(liu)和灌電流(liu)：1 mA

工作環境溫度：-20 至(zhi) +50 °C

介質溫度：-20 至(zhi) +50 °C

存(cun)儲環境溫度：-40 至 +120 °C

烘烤溫度（非工作）：+120 °C

Max介質壓力：10 bar （Abs）

安裝位置：任意

防護等(deng)級(ji)，EN 60529/A2:2013：IP 40

濕度(du)IEC 68-2-38：98%，無冷凝

電源(yuan)電壓：+3.3 VDC 或(huo) 4-18 VDC

功耗：25 mW（Max）3.3 VDC 電源；95 mW（Max）4-18 VDC 電源

質譜儀、掃(sao)描電子顯微鏡、泄漏探測器、太空飛(fei)行系統、飛(fei)輪儲(chu)能、真空泵(beng)集成、閥門集成