常規隔膜閥（CDV）系列包括超高(gao)純版(ban)本(ben)，根據相關SEMI規范制造，具有更高(gao)的可靠性(xing)。

• 閥座設計和雙層隔膜可延長循環壽命并減少顆粒產生。
• 完全清掃潤濕路徑，以減少截留，促進吹掃，更大限度地提高Cv，同時更小化內部體積。
• 氣動執行器可在執行時快速響應。
• 手動和混合執行器指示可視的四分之一圈打開和關閉位置。
• 可根據要求提供自定義配置。

1、 閥(fa)體316L SST SEMI F20

2、 閥座PCTFE

3、 隔膜Elgiloy

4、 按(an)鈕316L不銹(xiu)鋼

5、 閥蓋(gai)303 SST

6、 螺母303 SST

7、 執行機構(gou)陽極氧化鋁

產地：美國

氣動(dong)工作壓(ya)力：真空至150 PSIG

¼手動工作(zuo)壓力：真空至250 PSIG

混(hun)合工(gong)作壓力：真(zhen)空至150 PSIG

防爆壓力：1.5 x工(gong)作壓力

爆裂(lie)壓力：4500 PSIG

表面粗糙度

標(biao)準：≤16 Ra µ inch

高(gao)純度：6-10 Ra µ inch

超高純度：≤5 Ra µ inch

流量系數(shu)：Cv=0.3

氣動(dong)執行機構(gou)驅動(dong)壓力：65-125 PSIG

卡套管集成(cheng)接頭：1/8“-27 NPT 1/8”，M5氣(qi)動或1/8“

手(shou)動(dong)和混合執(zhi)行器：¼轉(zhuan)手(shou)動(dong)

內側泄漏率：≤10-9 atm cc He/sec

外側泄(xie)漏率(lv)：≤10-9 atm cc He/sec

通(tong)過閥座(zuo)的(de)泄漏率：≤10-9 atm cc He/sec

溫度，閥座材料：

-40°F至150°F（-40°C至66°C），PCTFE

-40°F至300°F（40°C至150°C）、PEEK

-15°F至300°F（-10°C至150°C），PFA，VESPEL