MProbe Vis-Thin 薄膜測量(liang)系統是一(yi)款結構緊(jin)湊、功(gong)能多樣的臺式系統。它(ta)(ta)可(ke)(ke)以測量(liang)不同(tong)基底(di)上 10nm - 150µm 厚(hou)度范圍內的半透(tou)明(ming)薄膜。而(er)且，它(ta)(ta)經(jing)濟實惠，使用(yong)(yong)方便。MProbe Vis(X) 的生產版(ban)本可(ke)(ke)承受振(zhen)動(dong)，并可(ke)(ke)通過局域網連接24小時運行(xing)。它(ta)(ta)可(ke)(ke)用(yong)(yong)于在(zai)(zai)線和 OEM 應(ying)用(yong)(yong)。它(ta)(ta)與無塵室環境(jing)兼容。MProbe20 VisX 系統是 MProbe20 Vis 系統的一(yi)個(ge)版(ban)本，在(zai)(zai)更長波長（> 700 nm）下的靈敏度有所提高。

靈活性高

500 多種擴(kuo)展(zhan)材料數據庫

可以(yi)處理(li)復雜的應用，沒有(you)層數限制，支(zhi)持(chi)背面(mian)反(fan)射(she)率、表(biao)面(mian)粗糙度(du)、暗淡(dan)度(du)等。

集成：輕松集成 TCP 服(fu)務器(qi)

經濟實惠，性價比高

主(zhu)機(ji)（包括光譜(pu)儀、光源）

SH200A 樣(yang)品臺，帶聚焦鏡頭和微調裝置

光纖反射探頭

TFCompanion -RA 軟(ruan)件、USB許(xu)可證(zheng)密鑰、包含軟(ruan)件發布(bu)、用戶指(zhi)南和其他材料的 USB 記憶(yi)棒

USB / LAN 電纜

24VDC 電(dian)源(yuan)適配器（110/220V）

產地：美國

厚度(du)范圍： 10 nm - 150 μm

波長范圍： 400nm -1000nm（典型(xing)校準范圍：380-1050nm），VisX 為 450nm -1050nm

波(bo)長分辨率(lv)： < 小于 1 nm，狹縫為 20 微米（整個(ge)光譜均勻一致）

連接： USB / 1 GbE LAN

數據采集速率：1.5kHz（Max）

測(ce)量時(shi)間：10秒（Min）

精度：<0.01nm 或 0.02%（在 200nm 氧化(hua)物上進行 100 次測量的 s.d.）。

準確度：<1nm 或 0.2%（取決于薄膜(mo)疊層）

穩定性：< 0.02nm 或(huo) 0.2%（每天(tian)(tian)測量 20 天(tian)(tian)）

光斑(ban)尺(chi)寸：< 1 mm

樣品尺寸：>= 10 mm

光源：5W TH 燈，10000 小(xiao)時壽(shou)命（可選：20W TH 燈，2000 小(xiao)時壽(shou)命）

可快速可靠(kao)地(di)測量大(da)多數(shu)半透明或輕吸收薄(bo)膜： 氧化(hua)(hua)物(wu)、氮化(hua)(hua)物(wu)、光刻(ke)膠、聚(ju)合(he)物(wu)、半導體（硅、砷化(hua)(hua)鎵、aSi、聚(ju)硅等）、硬涂(tu)層（SiC、DLC、AlN）、聚(ju)合(he)物(wu)涂(tu)層（Paralene、PMMA、聚(ju)酰胺）、ITO、電池間(jian)隙、氧化(hua)(hua)鋁、薄(bo)金屬膜（<50 納米）等。