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產品介紹
ResMap Model 178已(yi)成為成本(ben)效益電阻率測量的行業標準。該四點探針旨在滿足工藝(yi)開發和工具表(biao)征工程師的需(xu)求，具有所需(xu)的準確性(xing)、可(ke)重復性(xing)和可(ke)靠性(xing)。其龐大的安(an)裝基礎證明了其性(xing)能、易用性(xing)和低擁(yong)有成本(ben)。
CDE的成立旨在為半導(dao)體(ti)(ti)及相關(guan)行業開(kai)發和制造高(gao)性能、高(gao)性價比的晶(jing)圓計量工具(ju)(ju)。CDE ResMap是(shi)一(yi)系(xi)列適用于各種應用的自動(dong)電阻率(lv)測繪系(xi)統。4點探(tan)針測量工具(ju)(ju)是(shi)一(yi)種儀器(qi)，用于測量導(dao)電介質（通常是(shi)半導(dao)體(ti)(ti)應用的薄膜(mo)）中的薄層電阻（或Rs）。
性能特點
- 準確性
- 可重復性
- 可靠性
技術參數
- 晶片處理：手動裝載
- 晶圓尺寸：2英寸至8英寸
- 尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸
- 典型測量時間：每個站點1秒
- max吞吐量：每片晶圓1分鐘（49個站點）
- 測量范圍：2米?/-5米?/（可以優化到1米?/）
- 重復性（1σ，典型）：≤±0.02%（靜態或Rs-pack）；≤±0.1%（動態近點）
- 精度：使用NIST traceableResCal標準≤±0.5%
- min邊緣排除：1.5mm（探頭中心到薄膜邊緣）
- 交流電源：100V至240V<10 KVA
- 產地：美國
