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MProbe 20是一種用(yong)于全球(qiu)數千(qian)個應(ying)用(yong)的薄(bo)膜(mo)厚(hou)度(du)測(ce)量(liang)臺式系統。它只(zhi)需單擊鼠(shu)標(biao)即(ji)可(ke)(ke)測(ce)量(liang)薄(bo)膜(mo)厚(hou)度(du)和折射(she)率(lv)。可(ke)(ke)以(yi)快速(su)可(ke)(ke)靠(kao)地測(ce)量(liang)1nm至1mm的厚(hou)度(du),包(bao)括(kuo)多層膜(mo)堆疊。不同的MProbe 20模型主要通過(guo)光(guang)譜(pu)儀的波長范圍(wei)和分(fen)辨率(lv)來區(qu)分(fen),這反過(guo)來決定了可(ke)(ke)以(yi)測(ce)量(liang)的材料的厚(hou)度(du)范圍(wei)和類型。該測(ce)量(liang)技術基于光(guang)譜(pu)反射(she)——快速(su)、可(ke)(ke)靠(kao)且無損。
產地:美國
精度:<0.01nm或(huo)0.01%(在200nm氧化(hua)物(wu)上進(jin)行100次測量的(de)s.d.)
<1nm或0.2%(依賴(lai)于膠(jiao)片堆棧)
穩定性:<0.02nm或0.2%(20天(tian),每天(tian)測量)
測(ce)量(liang)厚度:1nm至1mm
光斑尺寸:<1mm
樣品尺寸:>=10mm
主機:包(bao)括光譜儀(yi)、光源、光控制器(qi)微處理器(qi)
樣品臺:SH200A
探頭:光纖反射
測試樣品:200nm氧化硅或PET薄膜
電纜:USB或LAN
電(dian)源適配(pei)器:24VDC
電壓:110/220V
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