設計

壓電(dian)執(zhi)行器N 系(xi)(xi)列(lie)專為(wei)工業應用(yong)而制(zhi)造。它(ta)們(men)(men)由大量接觸的陶瓷盤組成。電(dian)極(ji)布置(zhi)在陶瓷盤的兩側(ce)。它(ta)們(men)(men)由柔性絕(jue)緣(yuan)材料(liao)特(te)別屏蔽(bi)，可在嚴苛的要求下具有盡可能高的動態(tai)性能。基(ji)于(yu)它(ta)們(men)(men)的設計，它(ta)們(men)(men)非常(chang)適合(he)輕松集成到特(te)定的客(ke)戶系(xi)(xi)統中。特(te)殊設計采用(yong)中心(xin)鉆孔。它(ta)們(men)(men)被稱為(wei)環形執(zhi)行器。它(ta)們(men)(men)主要用(yong)于(yu)激光腔對準。

絕緣

壓(ya)電(dian)陶瓷(ci)(ci)(ci)由特殊的(de)柔(rou)性聚(ju)合物絕(jue)緣材(cai)(cai)料覆蓋。這種(zhong)絕(jue)緣保證(zheng)了(le)(le)長期(qi)應用的(de)高(gao)性能(neng)。柔(rou)性聚(ju)合物涂層材(cai)(cai)料為 PZT 執(zhi)行器(qi)提(ti)供了(le)(le)針對各種(zhong)惡劣(lie)環(huan)境的(de)成熟保護。與脆(cui)性陶瓷(ci)(ci)(ci)絕(jue)緣材(cai)(cai)料相比，柔(rou)性絕(jue)緣材(cai)(cai)料的(de)優點(dian)是使用壽命更長。JENA壓(ya)電(dian)系統已(yi)通(tong)過實驗(yan)測試了(le)(le)這一優勢。結果表明(ming)，壓(ya)電(dian)執(zhi)行器(qi)在惡劣(lie)條(tiao)件下(xia)已(yi)經(jing)工作并(bing)繼(ji)續工作了(le)(le) 20 多年。絕(jue)緣也適用于低溫和真空環(huan)境。額外的(de)熱縮(suo)管絕(jue)緣保護陶瓷(ci)(ci)(ci)上的(de)電(dian)纜(lan)連接點(dian)。

安裝

在制造過程和使用過程中不要使致(zhi)動器尖端受到非軸向力是相當重要的(de)。PZT 多層疊堆未預(yu)加(jia)(jia)(jia)載(zai)。當用于動態(tai)應用或(huo)具有高加(jia)(jia)(jia)速力的(de)應用時，會施(shi)加(jia)(jia)(jia)外部(bu)預(yu)載(zai)荷。標準電(dian)纜長度為(wei) 100 mm。作為(wei)選項，可(ke)提供扁(bian)平碳(tan)化鎢或(huo)球頭端板。請注(zhu)意，在低溫條件 (4 K) 下使用時，只有 10% 的(de)標準運(yun)動可(ke)用。

• 不帶外殼的 PZT 多層疊堆
• 無預載
• 運動高達 123µm
• 高達 250N/µm 的高剛度
• 靈活安裝
• 無限分辨率
• 靈活的環氧樹脂絕緣材料，以確保長壽命

N 系列 – 圓形尺寸堆疊(die)式執行器

• 頂底板：圓形陶瓷（Al2O3，直徑5mm）
• 熱縮管隔離，總直徑小于6mm

N 系列 – 矩形尺寸堆疊式(shi)執行器：

• 堆棧本身的環氧樹脂隔離
• 通過熱縮管進行額外隔離（也用于固定電纜）
• 電纜出口位于堆棧末端下方約 5 毫米處
• 不帶頂板和板的標準版本

進一步的選擇：

• 提供不同的頂部/端板
• 真空版

低溫版本

N 系列壓(ya)電執行器已在納(na)米計量、半導體、材料科學和掃(sao)描應用領域的大量應用中成功工作超過 15 年(nian)。