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產品介紹
用(yong)于雙激光故(gu)障注入的 D-LMS 顯微鏡站是(shi)一個(ge)平臺，允許獨立(li)聚焦和掃描兩(liang)個(ge)激光點(dian)(dian)，用于(yu)集成電(dian)路的(de)(de)評估。雙點(dian)(dian)注射工藝的(de)(de)理想(xiang)選擇，它(ta)提供了所有(you)空間和時間的(de)(de)靈活性，可(ke)以(yi)通過(guo)背面(mian)分析電(dian)路
性能特點
集成(cheng)電路(lu)評估雙激光站(均通過(guo)顯(xian)微(wei)鏡點)
背面激(ji)光故(gu)障(zhang)注入的(de)理想選擇
具有高分辨率物(wu)鏡的(de)1米(mi)以下單模激光(guang)光(guang)斑尺寸
兩個激光(guang)光(guang)斑(ban)都具有完全獨立的(de)時間(jian)和(he)空(kong)間(jian)調制
通過數百(bai)米的硅(gui)來觀察集成電路路徑上的激光點的照相機
高(gao)再現性(xing)和(he)高(gao)分辨(bian)率激光光斑位移
包括(kuo)三個(ge)阿爾(er)法諾(nuo)夫激光(guang)模塊
可選功能與配件
光學鏡頭(tou)技術
光(guang)電發(fa)射套件
熱激光(guang)刺激套件
通過CE認證的(de)激光外(wai)殼完成自動設置
高分(fen)辨(bian)率目標
技術參數
單模光纖激(ji)光器(qi)
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PDM+/PDM+ HP |
PDM4+ and PDM4+ HP |
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脈沖持續時間 |
從1.5納秒(miao)到(dao)連續波 |
從1.5納秒到連續波(bo) |
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峰值功率 |
高達3.2瓦 |
高(gao)達(da)10瓦 |
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波(bo)長(chang) |
980納(na)米；1064牛米 |
980納米(mi)；1064牛(niu)米 |
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重復率 |
從(cong)單發到250兆赫 |
從單發到250兆赫 |
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命令接口 |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
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光(guang)束(shu)質(zhi)量 |
單模 |
單模 |
InGaAs 紅外相機
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Captor |
640x512 µm |
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動態量程 |
140 dB |
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接口 |
USB(包含軟件) |
電學
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電壓(ya) |
220 V/110 V |
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電流 |
16 A |
