產品介紹
莫特高(gao)(gao)純(chun)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)過濾(lv)(lv)器可(ke)對(dui)低至0.0015μm的(de)顆(ke)粒進行(xing)9對(dui)數(shu)過濾(lv)(lv)，從而產生無顆(ke)粒氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)。為了(le)大(da)限度(du)地提高(gao)(gao)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)過濾(lv)(lv)效率、強(qiang)度(du)和(he)可(ke)靠性，GasShield POU全金屬(shu)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)過濾(lv)(lv)器是超高(gao)(gao)純(chun)（UHP）氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)輸送應用的(de)理想(xiang)選擇。它們(men)與大(da)多數(shu)高(gao)(gao)純(chun)度(du)電子(zi)級工藝氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)兼容。
性能特點
不銹鋼過濾介質
技術參數
- 操作條件：
max工作(zuo)壓(ya)力：3750 psig（258.5 barg）
惰(duo)性氣體的highest工作(zuo)溫度：450°C
max壓差：1000磅/平方英寸（68.9巴(ba)）
- 材料：
五(wu)金件：316L SS
過(guo)濾介質(zhi)：316L SS
潤(run)濕硬件表(biao)面光潔度：5 Ra，電拋光
- 過濾器效率（對數折減值）：
≥9 LRV（顆粒減少99.9999999%）。
根(gen)據SEMI F38-0699測試方法(fa)，確定最大(da)穿(chuan)透粒(li)度為0.08μm
- 顆粒去除尺寸：≥0.0015μm
- 氦氣泄漏等級：1 x 10-9 atm cc/sec
- 水分貢獻：根據SEMI F27測試方法，在低流量環境吹掃下1小時后<10 ppb
- 總碳氫化合物：低于SEMASPEC 90120396B測試方法的可檢測限值
- 顆粒脫落：根據SEMI F43-0308試驗方法，背景以上的顆粒貢獻為零（<1顆粒/ft³）
- 產地：美國
產品應用
用于半(ban)導體(ti)、LED、光伏和MEMS設(she)備(bei)連接的超(chao)高(gao)壓(ya)氣(qi)體(ti)棒。閥門歧管箱(xiang)、氣(qi)體(ti)柜、工具隔離氣(qi)體(ti)箱(xiang)、車載(zai)氣(qi)體(ti)輸送箱(xiang)中的超(chao)高(gao)壓(ya)過濾或任何需要超(chao)高(gao)純度顆粒去除的工藝。
