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產品介紹
Kit L系(xi)列直(zhi)線(xian)光柵尺(chi)特別設(she)計用于(yu)個(ge)性化的應用。該(gai)系(xi)列產(chan)(chan)品(pin)不僅擁有極(ji)小的尺(chi)寸，更提供配置能力(li)。該(gai)系(xi)列產(chan)(chan)品(pin)幾乎(hu)不限(xian)制(zhi)設(she)計師的設(she)計自由(you)。
性能特點
- 特殊真空版的Kit L2帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）
- 帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）
- 光柵尺部件滿足真空度達10 E-6 mbar（UHV）的氣壓要求
- 1 Vpp或RS 422輸出信號
- 多達100倍的細分信號
- 最小測量步距僅50 nm
- 運動速度達10 m/s（1 Vpp）
