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產品介紹
LIA系列直線光柵尺精度(du)高(gao)且易于使(shi)用。自帶2場EPIFLEX讀數模塊，也適用于惡劣的應用環境(jing)。
性能特點
- 帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）
- 個性化的配置
- 1 Vpp或RS 422輸出信號
- 多達100倍的細分信號
- 最小測量步距僅50 nm
- 運動速度達10 m/s（1 Vpp）
- 2場掃描，更強抗污能力
- 支持多種安裝方式，靈活地安裝
- 豐富的輔件
