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產品介紹
LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間(jian)有(you)限的(de)應用。LIK 41是該系列的(de)最小(xiao)(xiao)產品，特別配單場讀數(shu)頭，最大限度減小(xiao)(xiao)外殼尺寸。
性能特點
- LIK 41帶EPIFLEX讀數模塊（單場掃描）
- 超小型尺寸
- 個性化的配置
- 1 Vpp或RS 422輸出信號
- 多達100倍的細分信號
- 最小測量步距僅50 nm
- 運動速度達10 m/s（1 Vpp）
- 提供真空特殊版
