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產品介紹
Sierra的SmartTrak 100熱質(zhi)量流(liu)量控制(zhi)器是(shi)一(yi)款多氣(qi)體數字MFC，旨在提供您(nin)每次可(ke)依靠的平穩，穩定，準確(que)和(he)(he)可(ke)重復的氣(qi)體質(zhi)量流(liu)量控制(zhi)。不受上游氣(qi)體溫度和(he)(he)壓(ya)力(li)波動的影響，Sierra SmartTrak 100的氣(qi)體質(zhi)量流(liu)量控制(zhi)是(shi)直接而明確(que)的。SmartTrak已獲得CE認證，可(ke)在您(nin)指(zhi)定的較大(da)流(liu)量范(fan)圍（高達1000 slpm或(huo)更高）下(xia)使用，具有各種(zhong)尺寸，工(gong)業防水(shui)外(wai)殼，工(gong)作(zuo)壓(ya)力(li)和(he)(he)溫度以及行業尺寸。
采用熱技術(shu)的直接質(zhi)量(liang)(liang)流量(liang)(liang)+/- 0.5％滿量(liang)(liang)程(cheng)精度(du)。
多氣(qi)體數字質量流量控制器。
50 slpm的占地面(mian)積(ji)小，非常適合OEM。
主(zhu)要標準的10點NIST校準。
技術參數
所有(you)清潔氣(qi)體，包括有(you)毒和(he)腐蝕性
高精度：滿量程的+/- 0.5％
精(jing)度：滿(man)量程的+/- 1％
重復性：滿量程(cheng)的+/- 0.2％
流量范圍(wei)從0-10 sccm到0-1000 slpm（nlpm）
更(geng)高和更(geng)低的流(liu)量范圍
壓力至500 psig（34.5 barg）
氣體/環境溫度32°F至(zhi)122°F（0°C至(zhi)50 C）
響應時間：300ms時間常(chang)數：2秒（典(dian)型值(zhi)），在終(zhong)值(zhi)的±2％之內（包括建立時間），根據要求提(ti)供(gong)更快(kuai)或更慢的速度
24 VDC電源
密(mi)封件：Viton，Neoprene，Karlez
316不銹鋼結構
包括(kuo)模擬(ni)或數字信(xin)號：RS-232，RS-485（多點），0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
數字(zi)通信： 基金會現(xian)場總線 和 Modbus RTU
規格參數
所有清潔氣體(ti)，包括(kuo)有毒(du)和腐(fu)蝕性(xing)
高(gao)精度(du)：滿(man)量(liang)程的+/- 0.5％
精度：滿量程的(de)+/- 1％
重復性：滿量程的+/- 0.2％
流(liu)量范(fan)圍從0-10 sccm到(dao)0-1000 slpm（nlpm）
更(geng)高(gao)和更(geng)低的(de)流量(liang)范圍
壓力(li)至500 psig（34.5 barg）
氣(qi)體(ti)/環境(jing)溫度32°F至122°F（0°C至50 C）
響(xiang)應時間(jian)：300ms時間(jian)常數：2秒（典(dian)型值(zhi)(zhi)），在終值(zhi)(zhi)的±2％之內（包括建(jian)立(li)時間(jian)），根據(ju)要求提供更快(kuai)或更慢(man)的速度
24 VDC電源
密封件(jian)：Viton，Neoprene，Karlez
316不銹鋼結構
包括(kuo)模擬或(huo)數字(zi)信號：RS-232，RS-485（多點(dian)），0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
數字通(tong)信： 基金會現場總線(xian) 和 Modbus RTU
