壓力控制

該(gai)控(kong)制(zhi)(zhi)器可確保快速，準確的壓(ya)力控(kong)制(zhi)(zhi)。操作LEARN功(gong)能只需啟動一次，系統參數是(shi)自(zi)動確定的。由于自(zi)適(shi)應(ying)(ying)算法的控(kong)制(zhi)(zhi)器連續適(shi)應(ying)(ying)于加工過程條件(jian)（氣體(ti)、氣體(ti)流量），從(cong)而(er)確保在任何(he)時(shi)候(hou)都有(you)壓(ya)力控(kong)制(zhi)(zhi)。

位置控制

在位置(zhi)控制模式下，閥(fa)板可以移動(dong)到任何位置(zhi)。

顯示

狀態和位置是4位的(de)數字顯示。

遙控操作

所述閥可以(yi)由(you)主(zhu)機(ji)(ji)計(ji)算(suan)機(ji)(ji)通過RS232、RS422、RS485、Logic、DeviceNet、以(yi)太網(wang)、現場(chang)總(zong)線、CC鏈(lian)路或EtherCAT的(de)接(jie)口進行(xing)控(kong)制(zhi)(zhi)。 RS232接(jie)口與現場(chang)總(zong)線也(ye)有數(shu)字輸(shu)入以(yi)關閉(bi)和打開(kai)所述閥。此(ci)外(wai)，數(shu)字輸(shu)出可用(yong)于(yu)開(kai)放和關閉(bi)（閥的(de)狀(zhuang)態(tai)）。控(kong)制(zhi)(zhi)通過邏輯控(kong)制(zhi)(zhi)接(jie)口，通過數(shu)字以(yi)及(ji)模擬(ni)輸(shu)入和輸(shu)出進行(xing)。

應用

半導體，FPD和工(gong)業過(guo)程，特別是化學氣(qi)相沉積系統。