FLEXI-FLOW緊湊型FF-M10和FF-M11緊湊型質量流量/壓力計適用于在真空和17 bar（a）之間的工作壓力下測量0…500 ml_n/min和0…20 l_n/min之(zhi)間的(de)(de)流量范圍。該儀器(qi)結(jie)合了基于毛細管MEMS技術(shu)的(de)(de)快速穩定的(de)(de)熱質(zhi)(zhi)量流量傳(chuan)感(gan)器(qi)和準(zhun)(zhun)確可(ke)靠的(de)(de)旁路(lu)結(jie)構(gou)。由(you)于獨特的(de)(de)TCS技術(shu)（通過芯片(pian)傳(chuan)感(gan)器(qi)），建(jian)立了與溫度和管路(lu)壓力變化無關的(de)(de)準(zhun)(zhun)確質(zhi)(zhi)量流量測量。結(jie)合集成的(de)(de)溫度和上下游(you)壓力傳(chuan)感(gan)器(qi)，22種氣體的(de)(de)嵌入式數(shu)(shu)據(ju)庫(ku)可(ke)實(shi)現準(zhun)(zhun)確的(de)(de)車(che)載轉(zhuan)換。多(duo)參數(shu)(shu)儀表為用(yong)戶(hu)提供有用(yong)的(de)(de)過程(cheng)信息：

-型(xing)號FF-M10：流量(liang)+溫度

-型號FF-M11：流量+溫度(du)+上下游壓(ya)力

• 緊湊型氣體質量流量和壓力表
• 集成氣體轉換模塊
• 22種氣體嵌入
• 多參數輸出：質量流量、溫度和壓力
• USB-C和藍牙通信
• Namur NE107狀態指示

產地：荷蘭

流量范圍（可用的中間范圍）：min.0…500 ml_n/min

Max.0…20 l_n/min（基于N2）

壓力范圍：FF-M10：不可(ke)用(yong)/FF-M11：0…17 bar（a）

精度(du)（包(bao)括線性度(du)）（基于(yu)實際(ji)校準）：高達(da)±0,5%Rd plus±0,1%FS（N2/空氣/O2）；

對于其他氣體，增加轉換不確定(ding)性；

重復性

流量傳感(gan)器：<±0,2%Rd；

壓力傳(chuan)感器：<±0,2%FS

減(jian)速比：高達1:1000

工作壓力(li)：max.16 bar g

22種獨(du)特氣體以及(ji)這些氣體的(de)任何(he)混(hun)合物的(de)多氣體/多量(liang)程(cheng)嵌入式氣體數據

響應(ying)時間（傳感器(qi)）：<30 ms（T63）

3年內長期穩定性：<0,5%FS；每年<0,2%FS

安裝(zhuang)：任何位(wei)置，姿態靈敏度可(ke)忽略不(bu)計

溫(wen)度(du)傳感器(qi)靈敏度(du)：zero&nbsp;00015%FS/ºC；span 0,03%Rd/ºC；

壓力傳感器靈敏度：zero 0,16 mbar/ºC；span 0,05%Rd/ºC

溫度(du)精度(du)：±0,2ºC（儀器本體溫度(du)）

壓力(li)傳(chuan)感(gan)器精度：±0,5%FS

壓(ya)力敏感度（標準）：<0,15%Rd/bar，典型N2；

壓力校正：<0.02%Rd，典型N2

泄漏完整性，外側測試：<2 x 10^-9 mbar l/s He

機械部分

儀表本體(ti)：鋁或(huo)不(bu)銹鋼(gang)（可選）

材料（接液部件）：鋁、不銹鋼(gang)、氮化(hua)硅、環氧樹(shu)脂(zhi)、氧化(hua)鋁、玻璃(li)

表面質(zhi)量：<1.6μRa（不銹(xiu)鋼閥體<0.8μRa）

壓力等級（PN）：16 bar（g）/250 psig

工(gong)藝連接可選：壓縮式、推入式或端面密封聯軸(zhou)器

密(mi)封件默認(ren)值：FKM 51415；

其他材料：請聯系工廠(chang)

重(zhong)量：200 g，鋁(lv)閥體，300 g，不銹鋼316閥體

防護等級：IP40

電氣特性

電源：24 Vdc±10%

功耗：max.0,35 W

數字通信(xin)：Modbus RTU或FLOW-BUS（可選）

支持(chi)USB-C接口，便于(yu)設(she)置；

用于監控的可選藍牙連接

電(dian)氣連接：9針(zhen)D-sub（公頭）