VPM-5 SmartPirani 真(zhen)空(kong)傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)基(ji)于(yu)新(xin)型技術，具(ju)有(you)同類更(geng)(geng)好的性能(neng)，將熱(re)導(dao)真(zhen)空(kong)計的可用真(zhen)空(kong)測(ce)量范圍擴大了(le)(le) 1-3 倍，從(cong)而確立了(le)(le)新(xin)的性能(neng)標(biao)準(zhun)。SmartPirani 真(zhen)空(kong)測(ce)量傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)采用 MEMS（微機電(dian)系(xi)(xi)統）傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)技術，并結合了(le)(le) Sens4 自身(shen)的新(xin)型數字信號處理架(jia)構和創(chuang)新(xin)測(ce)量算法。結合準(zhun)密(mi)的自動化制(zhi)造和校準(zhun)流程，這(zhe)款產品可提供無(wu)懈可擊的測(ce)量性能(neng)。通過(guo)集成 MEMS 隔膜傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)，消除了(le)(le)熱(re)導(dao)率真(zhen)空(kong)計在粗真(zhen)空(kong)范圍內眾(zhong)所周(zhou)知的氣(qi)體(ti)依賴性，其精度(du)性能(neng)可與(yu)更(geng)(geng)昂貴的電(dian)容式壓力(li)計媲美。這(zhe)一特性可確保對真(zhen)空(kong)系(xi)(xi)統排氣(qi)過(guo)程進行更(geng)(geng)準(zhun)確的控制(zhi)，并可防止真(zhen)空(kong)系(xi)(xi)統過(guo)壓。

從 1.0E-6 到(dao) 1333  mbar，9 個分度的超寬測量范(fan)圍

性價比高

氣(qi)體獨立測量范圍從 2 到 1 333  mbar

通過 USB 編程器輕松配置(zhi)

0-10 VDC 可編程電壓輸(shu)出

數字 RS-232 或 RS-485 接口

引腳和輸出與(yu)其他(ta)供應商的壓力(li)表兼容

可選陶瓷或聚對(dui)二甲苯傳(chuan)感器保護，用于腐蝕性應用

可選(xuan)固態設定(ding)點繼電器，用(yong)于外部控(kong)制

產地：丹麥

測量范圍（mbar）：1x10^-6 至 1333  mbar（7.5x10^-7 至 1000 托）

測量原理 1x10^-6 至 1.5 mbar：MEMS Pirani 熱(re)導率

測量原理(li) 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS Pirani / 壓電(dian)讀數

測量原(yuan)理 2 至 1333 mbar：MEMS 壓電電阻(zu)膜片

精度 1x10^-5 至 9.99x10^-5：讀數的 25%

精度 1x10^-4 至(zhi) 7.99 mbar：讀(du)數的 5%

精度 8.00 至 99.9 mbar：讀數的(de) 1%

精度(du) 100 至 800 mbar：讀數的 0.5%

精度 800 至 1099 mbar：讀數的 0.25%

精度 1100 至 1333  mbar：讀數的(de) 0.5%

滯后 1x10^-3 至 10 mbar (IS019685:2017)：1 %

磁滯 10 至(zhi) 1333 mbar（IS019685:2017）：0.1%

模(mo)擬輸出(chu)分辨率：16 位 (150 μV)

模(mo)擬(ni)輸出更新率：124 Hz

響(xiang)應時間（ISO 19685:2017）：<20 ms

溫度(du)補(bu)償：+10 至 +50 °C

固態繼電器設定點范圍：5x10^-6 至 1333  mbar（3.75x10^-6 至(zhi) 1000 托）

固態繼電器觸點額定值：50 V、100 mA_rms / mA_Dc

固態(tai)繼電器認證：UL 認證： 文(wen)件 E76270；CSA 認證： 證書 1175739；EN/IEC 60950-1 認證

工作環境溫度：-20 至 +50 °C

介質溫度：-20 至 +50 °C

存儲環(huan)境溫度：-40 至 +120 °C

烘(hong)烤溫(wen)度（非工作(zuo)）：+120 °C

Max ABS介(jie)質壓力：10 Bar

安裝位置：任意

防護(hu)等級，EN 60529/A2:2013：IP40

濕度：98%，無冷凝

電源電壓：12-30 VDC

Max功耗：240 mW

反極性保護：是

過壓保護：是

內部保險絲：100 mA（可(ke)熱恢復）

分(fen)析儀器、半(ban)導體加工、真空爐、薄膜鍍(du)膜、太(tai)空模(mo)擬(ni)和飛行