產品介紹
SS 316L結構
10 µin.表面處理（25 µin.可選）
真空至3500 psig（241 bar）入口
1至(zhi)300 psig（0.07至(zhi)21 bar）出口
清洗，組裝(zhuang)和包裝(zhuang)用(yong)于高純度半導體應用(yong)
流量
-標(biao)準至30 slpm
-HF選項為120 slpm
使(shi)用點應(ying)用的(de)首選調節器
旋鈕LOTO
規格參數
傳(chuan)輸壓力：5至(zhi)150 psig（0.34至(zhi)10 bar）
耐壓：工(gong)作(zuo)壓力的(de)150％
爆破壓力：工作壓力的(de)300％
流(liu)量系數(shu)（Cv）：0.09（可選0.15 HF）
內部容積：0.49 in3（8 cm3）
端口：2口對接焊
閥體(ti)，噴嘴(zui)：SS 316L
隔膜：SS 316L
涂層：電拋光和鈍化
閥座：PCTFE（可選聚酰亞胺和PTFE）
入口(kou)/出口(kou)連接(jie)：1/4英寸面密(mi)封，母接(jie)頭
舷內泄漏：2 x 10-10 sccs
舷外泄漏：2 x 10-9 sccs He
座椅泄漏：4 x 10-8 sccs
安裝面(mian)或面(mian)板（可(ke)選）
工作溫度：-40°至+ 160°F（-40°至+ 71°C）
