產品介紹
雙(shuang)等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)的組合(he)可(ke)以用于獲得(de)二維等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)陣列。單個(ge)源(yuan)(yuan)以及2個(ge)，4個(ge)和8個(ge)平行(xing)排列的等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)可(ke)用于等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)輔助表面處理，如表面活(huo)化(hua)，蝕刻和沉積。雙(shuang)等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)是不使(shi)用磁(ci)場的直接微波等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)源(yuan)(yuan)。在簡化(hua)的描(miao)述中，它類似(si)于由微波激發的反向發光管(guan)，雙(shuang)等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)通(tong)常在約(yue)1000Pa至10Pa的低壓(ya)下操作。由兩(liang)(liang)個(ge)磁(ci)控管(guan)產生的具有2.45GHz頻率的微波在兩(liang)(liang)端被饋送(song)到等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)線(xian)中。在外部低壓(ya)狀態下放電點火，隨著微波功率的增加，等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)從沿(yan)著管(guan)的兩(liang)(liang)端增長，并且形(xing)成軸向均勻的等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子(zi)(zi)體(ti)。
低(di)壓微波等離子體源
可擴展(zhan)和緊湊的設計(ji)
大面積應用
高(gao)等離子體密(mi)度(du)
高效率
低傷(shang)害
輕(qing)松適應定(ding)制(zhi)系統
規格參數
頻率：915MHz / 2450MHz / 5800MHz
HF-輸入功率：典型2 kW/ m @ 1 mbar
波導：同(tong)軸8/26
過程壓力：典型值0.1 mbar - 1 mbar
等離子體密度：在2450MHz時高達1012/ cm3
典型(xing)的(de)過程氣體：ArO 2，N 2 H 2，NH 3，SiH 4，HMDSO
電(dian)子溫(wen)度：~2eV
同質(zhi)性：優(you)于5％
材料：
腔室：鋁(lv)
氣(qi)體噴淋：鋁
等離(li)子體(ti)源：石英，AL2O3
冷卻(que)：水/空(kong)氣合并
連接器：
同軸8/26（微波(bo)）
接頭套(tao)管(guan)（水，空氣(qi)，氣(qi)體(ti)）
尺寸(cun)：客戶特(te)定
MW電源元件(jian)
MUEGGE短路活(huo)塞MW2009D-260ED
上(shang)海連航機電科技有限公司(si)的(de)業(ye)務(wu)所涉及(ji)的(de)產(chan)(chan)品(pin)品(pin)類眾多、應用(yong)廣泛(fan)，同類可互(hu)換產(chan)(chan)品(pin)選(xuan)擇多樣化，專業(ye)技術團(tuan)隊和銷售服(fu)務(wu)團(tuan)隊可以(yi)滿足客(ke)戶(hu)關于產(chan)(chan)品(pin)選(xuan)購、技術支持、項目集成等全方位的(de)需求。主(zhu)要產(chan)(chan)品(pin)品(pin)類有：物理參(can)數(shu)檢測測量、自動(dong)化與(yu)工業(ye)IT、液壓(ya)、氣(qi)動(dong)、分析儀器、實驗室(shi)設備、制動(dong)傳動(dong)設備、電器元件、機(ji)床、工具、物流設備、工業(ye)機(ji)器、成套(tao)設備等。
